中古 SAMCO RIE-212ip #293760254 を販売中

SAMCO RIE-212ipは、敏感なエッチング用途向けに設計された高度なリアクティブイオンエッチング（RIE）システムです。半導体製造からバイオメディカルエンジニアリングまで幅広い用途に適しています。RIE-212ipは、12インチのウェーハサイズ機能を備えており、より高いスループットを必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。エッチング工程の正確な位置決めのための高精度の光学部品を備え、最大2つの独立した真空チャンバーで5つのエッチングガスサービスラインを処理できます。機械のユーザーインターフェースは、エッチングパラメータの正確な制御を可能にし、プロセス条件のリアルタイム監視を提供します。SAMCO RIE-212ipは200°Cまでの温度で動作可能で、多種多様な精密エッチングプロセスに対応できます。低温エッチング用の2つのプロセスガスの同時流量がチャンバーを介して可能であり、アルミニウム、シリコン、チタン合金の加工に最適です。エッチャー内の調整可能な総圧力により、プロセス中のエッチングを厳密に制御することもできます。RIE-212ipで使用される高精度のダイレクトドライブステッピングモーターにより、プロセスの再現性と精度に優れています。モーターは、水平および垂直に読み取るガラスエンコーダを備えているため、さまざまなエッチング用途に適応できます。ボトム反射防止コーティングフィルターにより、エッチング時の光の反射を防ぎ、光の散乱を最小限に抑え、プロセス精度を向上させます。SAMCO RIE-212ipは、2カセットのウェーハエレベーターと調整可能なウェーハチャックで設計されており、便利なウェーハローディングとアンロードが可能で、効率と生産性が大幅に向上します。このマシンの内蔵センサーにより、デバイス/ウェーハ基板のイベントを自動的に検出し、エッチング処理中の安全性とオペレータの快適性を確保します。RIE-212ipの直感的なオペレーティングシステムとグラフィカルユーザーインターフェイスは、マシンのパフォーマンスを強調し、ユーザーフレンドリーで効率的な生産を可能にします。また、このシステムの診断機能は使いやすさを向上させ、機密性の高いエッチングアプリケーションでも高性能を選択できます。