中古 SAMCO RIE-200NL #293638507 を販売中

SAMCO RIE-200NLは、幅広い表面処理およびエッチング処理用の反応イオンエッチャー/アッシャーです。小型バッチから高精度エッチングまで幅広い用途に対応できる汎用性の高い機器です。このエッチャー/アッシャーは、一貫した高品質の結果を生み出すために、良好なプロセス再現性と優れた機能分解能を提供するように設計されています。ポリシリコン、アモルファスシリコン、ガラス、金属など、あらゆる種類の材料に適しています。このシステムは、エッチングチャンバーとアッシングチャンバーを1つのポンプとセンサーのセットで接続したダブルチャンバー設計に基づいています。これにより、ユーザーは数回クリックするだけでエッチングとアッシングを切り替えることができます。メインチャンバーには、エッチングプロセスを最適化するために任意の位置に配置できるリモートプラズマ源が装備されています。エッチングチャンバーには、円筒形のガラス窓、ベローズ真空シール、プロセスの温度を安定して制御するための冷却ジャケットがさらに装備されています。エッチングチャンバー内部では、エッチングガスRIE-200NL利用して、基板表面から材料を分解して堆積させます。エッチング処理は、エッチング速度、選択性、誘導率、層の厚さなど、さまざまなパラメータを使用して最適化できます。このユニットは、高い再現性を備えた高密度サブミクロン機能を生成することができ、高精度のアプリケーションに最適です。SAMCO RIE-200NLは、シャドウマスク、ライナー、スペーサーなどの追加アクセサリーや、加熱や冷却などの二次処理機能も強化できます。Ashing Chamberは炭素および塵の粒子を取除くのに使用され、最適の粒子の取り外しを保障するために作り付けの血しょう源と設計されています。エッチングとアッシングの両方のプロセスは、オンボードコンピュータと遠隔地から監視および制御できます。さらに、すべての部品に簡単にアクセスしてメンテナンスや修理作業を行うことができます。また、オプションのリアルタイム非接触温度監視ツールを搭載し、さらなるプロセス最適化を実現しています。全体として、RIE-200NLは優れた精度と再現性を提供する効果的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。高い精度と効率でハイエンドな結果を出すことができ、幅広い表面処理およびエッチング処理に最適です。