中古 SAMCO RIE-200NL #293621510 を販売中

SAMCO RIE-200NLは、SAMCO Technologiesによって設計および製造されたエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、エレクトロニクス、半導体、オプトエレクトロニクスなど、さまざまなエッチングおよびアッシング用途向けに設計されています。RIE-200NLは、誘導結合プラズマ（ICP）エッチングプロセスを利用しており、深い異方性エッチングや極めて低温プロセスなどの従来のエッチングプロセスよりも優れています。これにより、ユーザーはエッチング速度を制御し、エネルギーを調整し、プロセスパラメータを変更して目的の結果を得ることができます。このユニットには、エッチングプロセスと操作パラメータを制御するための多目的な機能を提供する高度なコントローラが装備されています。また、リモートからアクセスできる機械の性能と診断をチェックする自己診断機能も備えています。SAMCO RIE-200NLは、4つの独立したガスチャネルを備えたガスインレットマニホールドを備えており、最適なガス混合物を選択することができます。プロセス部屋はステンレス鋼および水晶からなされ、優秀な温度および圧力制御を提供します。また、取り外し可能なサイドウォールを備えているため、大型ウェハや複数の基板構成の加工が可能です。RIE-200NLは、低温を維持し、粒子の汚染を最小限に抑える高効率のデュアル周波数マイクロ波発電機で設計されています。また、プロセスパラメータやレシピを簡単にカスタマイズすることができます。ユーザーはその場でウェーハ温度を監視することもできます。オプションのベースプレートにより、迅速なレシピのカスタマイズが可能で、クロス汚染を最小限に抑えることができます。また、ハロゲンベースのエッチング、硫黄ベースのエッチング、塩素およびフッ素ベースのエッチングなど、幅広いエッチング化学にも対応しています。SAMCO RIE-200NLエッチャー/アッシャーは、高度なエッチングおよびアッシングプロセスの研究開発に最適なツールです。多彩な機能性、高精度、使いやすさを備え、半導体、光電子、マイクロエレクトロニクス、エッチングやアッシングプロセスを必要とするその他の産業など、幅広い用途に適しています。