中古 SAMCO RIE-200L #9157970 を販売中
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SAMCO RIE-200Lは、さまざまな基板をエッチングまたはアッシングする際に、高品質で迅速な結果を得るために特別に設計された無線周波数（RF）エッチャー/アッシャーです。RIE-200Lは、高度なイオン源と強力な冷却負荷容量を備えており、長時間パルスモードで動作することができます。エッチャーの熱管理は、水冷プレートを追加することで改善されます。SAMCO RIE-200Lは、コンパクトな設計とユーザーフレンドリーなコンポーネントとレイアウトで構築されており、多くの研究および業界エンジニアの好ましい選択肢となっています。エッチャーには調整可能な周波数出力が付属しており、正確な電力を自動精度で提供します。コントロールボックスには高解像度LCDディスプレイがあり、さまざまなパラメータを素早く簡単に調整できます。さらに、システムには安全インターロックシステムと緊急オフスイッチが付属しており、動作中のリスクを最小限に抑えます。RIE-200Lは、O2、 CF4、 Arの3つのガスと、アルミニウム、ガリウムインジウム（GaIN）、金、ドープシリコンなどのさまざまな基板で動作することができます。このシステムは、最大11。7nm/minの印象的なエッチング速度をサポートし、それぞれ1 ~ 3ミクロン、6 ~ 30ミクロンの浅いまたは深いエッチング精度を備えています。さらに、エッチャーには、粒子を収集し、処理から発生する廃棄物を収集するための内蔵の排気フィルターが付属しています。汎用性と信頼性の高いエッチャーとして、SAMCO RIE-200Lはさまざまな業界やアプリケーションにとって優れた資産です。その高いエッチング率と精度は、さまざまなエレクトロニクスや機械産業で使用するための高品質の部品を製造するための理想的な選択肢となります。自動化された精度と調整可能な周波数出力の組み合わせにより、エンジニアは確かに新しい技術を探求し、画期的な製品を開発することができます。
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