中古 SAMCO RIE-1C #9357610 を販売中
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ID: 9357610
Reactive Ion Etcher (RIE)
Vacuum chamber:
Quartz: 212 mm diameter
Rectangular view port at front panel
Hinged lid with front mounted handle
Mesh cover
Electrodes:
Parallel plate design
Cathode coupling (RIE) mode
Distance: 44 mm (Fixed)
Upper electrode:
Aluminum
Diameter: 140 mm
Shower-head gas dispersion system
Lower electrode:
Type: Cathode (RF electrode)
Stainless steel
Diameter: 120 mm
Water cooled
Special tray:
Aluminum
Diameter: 120 mm
Maximum substrate size: 100 mm
RF Power source:
Solid state power generator
Crystal control
Power: 13.56 MHz, 200 W (Maximum)
RF Power interlock
With chamber lid
Vacuum pump:
Double stage rotary pump
Flow rate: 240 l/min
With PFPE pump fluid
Oil mist filter
Solenoid operated nitrogen gas ballast control valve
Couplings with metal vacuum hose
Vacuum gauge:
Capacitance monometer: 0-2 Torr
Gas delivery and inlet system:
(2) Mechanical flow meter controlled lines: CF4 / O2
Nitrogen purging line
Flow range: 0-20 SCCM
Timers:
Digital for process time: 0-99 Seconds, minutes / Hours
Resolution: 0.1s
Adjustable purging time: 0-60 Seconds
Audio alarm
Utilities required:
Step-down transformer
Cooling water: 2 Liter/min
Supply pressure: 15-20°C, 0.1-0.2 MPa
Supply and return connection: RC 1/4" and 1/4" O.D Tubing
Depth filter: 20 µm
Process gas supply: 0.1 MPa (15 psig)
Connection: Swagelok fittings, ¼"
Filters: 2 µm
Safety features:
Door interlock
Pressure interlock
Pressure reached alert
Venting:
Exhaust duct for pump
NW 25 Rotary pump exhaust
Power supply: 100 VAC, 15 A, Single phase.
SAMCO RIE-1Cは、SAMCO、 Inc。が製造するラピッドイオンエッチャー（RIE）です。様々な素材のエッチングやアッシング用に設計されています。このヘビーデューティエッチャーは、電子制御された高出力RFジェネレータを使用して、さまざまな材料をエッチングまたはアッシングすることができる非常に反応性の高いイオンビームを生成します。装置は化学実験室、研究センター、大学およびハイテク産業の使用のために適しています。RIE-1Cの主な特徴は、その高出力RF発電機です。この発電機は、4.2kWまでの電力を生成することができ、迅速なエッチングとアッシングプロセスを可能にします。また、正確な電力制御とポンピング速度のためのデジタルコントローラが装備されています。このコントローラは、デジタル表示コンソールを備えており、ユーザーは簡単に異なるエッチングおよびアッシング手順のための電源やその他のパラメータを調整することができます。さらに、エッチャーは多層構造を持っています。外の層（陰極）は重い合金材料から成り、内部の層（基質）はチタン合金から成っています。この二重層の構造はイオンビームを高め、エッチングされた材料の一貫して良質を保障します。RFジェネレータは、外部コンデンサから供給される直流によって駆動されます。これは、長期的なエッチングおよびアッシングプロセス中であっても、途切れることなく電力を供給するのに役立ちます。SAMCO RIE-1Cには、水冷ポンプ、ガスタンク、RFコイル、自動焦点レンズ、ガスフィードアダプターなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。これにより、さまざまなエッチングおよびアッシング用途が可能になります。余分特徴として、RIE-1Cにまたエッチングされ、灰にされた材料を保つ反反バックラッシュの構造があります。結論として、SAMCO RIE-1Cは強力なエッチャーとアッシャーであり、特に化学実験室、研究センター、大学、ハイテク産業での使用に適しています。高出力のRF発電機、デジタルコントローラ、二重層構造を備えており、一貫して高品質のエッチングおよびアッシュ材を提供します。RIE-1Cには、さまざまなエッチングおよびアッシング用途を可能にするさまざまなアクセサリーも付属しています。
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