中古 SAMCO RIE-1C #293753913 を販売中

SAMCO RIE-1Cは、再現性の高い高品質のエッチング微細構造を製造することができるエッチャーまたはアッシャーであり、マイクロファブリケーション用途に最適です。低圧での三フッ化塩素（ClF3）の不活性な雰囲気と誘導結合無線周波数（RF）放電を組み合わせたドライエッチング方式で、ターゲット基板から材料を除去する強力な電気化学機械技術を提供します。RIE-1Cは電気的に隔離された、導電性クラッド、およそ28。5インチを測定するすべてのステンレス鋼の部屋です。× 20。5インチ。× 15。5インチ。サイズを変えました。それは前部取付けられたコンピュータインターフェイス制御システムとセットアップされ、サンプルのローディングおよび荷を下すことを容易にする作り付けのantechamberを特色にします。主要な部屋は9つまでサンプルホールダーを握ることができプロセスガスは主要な部屋の弁を使用して制御されます。プロセスのコンポーネントは、チャンバー内の独立した水冷RFコイルに結合されたRF電源です。このRF電源は、プラズマを活性化することができ、電力損失を防ぐために低損失の同軸ケーブルでチャンバーに接続されている1ワットから35ワットまでの電力を可能にします。この電力を使用して、基板に移行する反応環境で荷電イオンを生成し、基板内のエレクトロマイグレーションを引き起こします。SAMCO RIE-1Cには、さまざまなアクセサリーでカスタマイズする機能もあります。自動チルトおよび回転機構を使用して、デュアルサイト処理（パターニング）を行うことができます。メインチャンバー上のクォーツビューポートのカバーは、ユーザーにチャンバー内で起こっているエッチング処理のビューを提供します。チャンバーには、真空密封環境でメインチャンバーの外側に接続されている2つの独立したポートが付属しています。真空を壊すことなく基板の交換を可能にするために、手動または自動化された複数のオプションが利用可能です。RIE-1Cは、高品質の微細加工アプリケーションに最適な汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。高い再現性と信頼性の高い性能で、安全に使用でき、効率的です。この技術的に高度なエッチャー/アッシャーは、卓越した精度と再現性でタイトなエッチング微細構造を生成し、生産歩留まりと信頼性を確保します。