中古 SAMCO RIE-10NS Alpha #9105716 を販売中

SAMCO RIE-10NS Alpha
ID: 9105716
ヴィンテージ: 2011
Dry etcher 2011 vintage.
SAMCO RIE-10NS Alphaは、集積回路チップの製造に使用されるように設計されたエッチャー/アッシャーです。高精度で高精度なエッチャー/アッシャーで、要求の厳しい生産作業に適した機能を備えています。RIE-10NSアルファは、レジスト材料のパターンを基板に刻印することによって動作します。このパターンは酸化剤にさらされます。エッチングまたはアッシングのプロセスは、エッチングされたフィーチャーの形状とサイズを制御するレジストパターンで、パターンを作成するために基板から材料を取り除くことを含みます。SAMCO RIE-10NS Alphaは、エッチングおよびアッシングプロセスの精度を最大化するように設計されています。エッチングやアッシングの進行に合わせて動的に電源入力を調整するアダプティブ制御装置など、さまざまな機能を備えており、正確なパターンと迅速なエッチング時間を確保します。さらに、高解像度の光学ビデオミクロスコープと高精度レーザーを搭載し、エッチングとアッシングの進行を正確に測定および検出します。RIE-10NS Alphaはマルチステージ機能認識とマッピングユニットも備えています。このマシンは、基板上の既存のフィーチャーを検出および分析することができ、複雑な形状や繊細なフィーチャーを生成する場合でも正確なパターンマッピングを可能にします。基板材料は真空チャックの照合によって支えられ、エッチング結果の均一性と一貫した品質を保証します。SAMCO RIE-10NS Alphaには、統合された真空蒸着とリアクタントスクラバーツールが付属しています。これにより、より細かい線幅と滑らかな曲線であっても、より高精度のエッチングおよびアッシング処理を行うことができます。また、高速データ取得・解析モデルを搭載しており、エッチングパターンを自動解析し、フィードバックや改善のための詳細なレポートを作成するように構成することができます。RIE-10NS Alphaは、洗練されたチップの生産のためのエッチングとアッシングの最高品質を提供するように設計されています。高度な機能とユーザーフレンドリーな操作性を兼ね備えているため、半導体生産やその他の関連分野での要求の厳しいアプリケーションに適しています。それは非常に信頼でき、作動し易く、長い耐用年数があり、複雑な設計の精密で、有効な生産のための理想的な選択をします。
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