中古 SAMCO RIE-10NR #9083619 を販売中

SAMCO RIE-10NRは、単一の周波数、無線周波数プラズマエッチャー/アッシャーです。これは、単一の周波数、高周波無線信号を使用して誘導結合プラズマを生成する無線周波数誘導励起（RIFE）プロセスを使用します。SAMCO RIE 10 NRは、エッチング性能を最適化するための周波数範囲の13.56MHzを備えており、シリコン、ガラス、金属、ポリマーなど様々な基板のエッチングに使用できます。RIE-10NRは、RF発電機、ガス分配ユニット、RF給電ユニットを一体化したコンパクトな設計となっています。これにより、高精度のエッチングとRFジェネレータの正確な制御が可能になります。エッチャー/アッシャーは、簡単に調節可能なチャンバーサイズを備えており、ウエハサイズは5〜10cmです。RIE 10 NRは、RF電界の生成に一連のコイルを使用します。これらのコイルは、高精度のエッチングとクロス汚染および摩耗に対する保護を確保するために、オールメタルステンレス製のチャンバーに囲まれています。SAMCO RIE-10NRは、チャンバー全体に均一なガス流量を確保するために、直接ガス供給システムを使用しています。これにより、プロセスガスを正確に制御し、最適なエッチング率を実現できます。プロセス圧力は圧力調整器を調節することによって制御することができエッチングの深さおよびプロフィールの均一性を可能にします。SAMCO RIE 10 NRはまた、ガス混合物の正確な制御を可能にし、より高いエッチング率とより良いエッチプロファイル定義を可能にします。RIE-10NRは非常に高精度なエッチングレートを提供し、エッチングパラメータを正確に制御します。また、複数のレシピ設定を持つシングルパスエッチプロセスを備えており、1回の実行で複数のエッチプロセスを可能にします。エッチャーは最大5分の短いサイクルを備えており、品質管理を強化してより高いスループットを実現します。また、温度と温度の均一性を制御する機能や、エッチング工程の精密制御用のロボットインターフェイスも備えています。RIE 10 NRは、高精度エッチング用途に最適なエッチャー/アッシャーで、エッチング工程において高精度かつ再現性を提供します。さらに、統合されたモジュラー設計により、メンテナンスが低く、操作が容易です。このエッチャー/アッシャーは、さまざまな業界の微細加工、表面改質、およびその他のエッチング用途に理想的なソリューションを提供します。