中古 SAMCO RIE-10NR #293656751 を販売中

SAMCO RIE-10NRは、生産および研究アプリケーション用に設計されたリアクティブイオンエッチャー（RIE）およびアッシャーです。SAMCOの以前のRIE10-TFモデルの成功を受けて、SAMCO RIE 10 NRは、エッチングとアッシングの速度を2倍以上にし、操作とメンテナンスを簡素化しました。RIE-10NRは最大200mm × 200mmの真空チャンバーを備えており、幅広いサンプルサイズに最適です。エッチング用に最大800Wの電力を発生するデュアルRFソースと、アッシング用に追加の500Wを装備しています。これにより、シリコンや金属などさまざまな材料に適しています。エッチング処理は、エッチング操作の終了を正確に決定する機能であるEndpoint Detectionによって監視されます。RIE 10 NRにまたエッチング剤の流れを調節し、部屋の壁をこすり、エッチングの均一性を改善する自動ジェット機の制御機能があります。エッチングは、チャンバー内の残骸の蓄積を防ぎ、システムの温度を維持する詰め替え可能な液体SnCl2ソリューションで実現されます。これにより不純物の存在を低減し、高エッチング選択性と均一性を可能にします。チャンバーには前方に見える光学ビューポートが接続されており、エッチング処理を監視し、エッチングされたサンプルの迅速なカメラ検査を可能にします。SAMCO RIE-10NRは、バルブスタック、ラフィングポンプ、およびコントローラを光学ビューポートの下に統合するロープロファイルのモジュラー設計も提供します。これにより、外部配線の必要がなくなり、メンテナンス中の時間とコストを節約できます。SAMCO RIE 10 NRは、高度なアプリケーションのために、浅いトレンチ絶縁のための追加の高周波ソースを装備することができます。さらに、ターボポンプ、サイドビューカメラ、スパッタイオンソースなど、さまざまなアクセサリを使用してアップグレードすることができ、汎用性を高めます。要するに、RIE-10NRは生産と研究のエッチングとアッシングの両方のための強力で信頼性の高いシステムです。そのデュアルRFソース、エンドポイント検出、および自動ジェット制御は、高度なプロセスに必要な精度と精度を提供します。