中古 SAMCO PD-3800 #9181347 を販売中

SAMCO PD-3800は、精密エッチングと高スループットレートを提供する高度で多機能なエッチングおよびアッシング装置です。半導体ウェーハ、プリント基板、金属箔など様々な試料材料の加工が可能です。PD-3800はハイエンドのコプラナーエッチング技術を備えており、異なる深さの薄膜を正確にエッチングすることができます。また、均一なエッチングと精密なエッチングプロセス制御のための高度なプラズマソース技術を持っています。頑丈なドライブモーターは余分な安定性を加え、精密な動きを保障します。SAMCO PD-3800の統合プラズマシステムは、優れた均質性と再現性を備えた高品質のエッチングを提供します。さまざまな用途に対応する複数のエッチングオプションと、幅広いプロセスガスとエッチング条件を備えています。自動化された機械制御、プロセス最適化、診断により、エッチングとアッシングの条件を微調整しやすくなります。均一でないエッチングを検出し、自動アライメントやプログラマブルなレシピストレージなどのスマート機能を搭載しています。さらに、サンプルの自動積み下ろしPD-3800可能にするロードポートと組み合わせることができます。また、エッチングのための清潔度の認証も提供しています。安全機能の面では、SAMCO PD-3800には圧力および温度センサ、緊急電源オフ、および自動ツールシャットダウン機能が内蔵されています。また、安全性とプロセス安定性を高めるための完全なプロセス制御を備えています。全体として、PD-3800は効率的で正確なエッチングおよびアッシング資産であり、信頼性の高いパフォーマンスと高いスループット率を提供します。統合されたモデル制御、安全機能、プロセス最適化により、精密エッチングに最適なソリューションです。