中古 SAMCO PD-270STA #9055166 を販売中

SAMCO PD-270STA
ID: 9055166
ヴィンテージ: 2001
Sputtering system 2001 vintage.
SAMCO PD-270STAは、マイクロエレクトロニクス製造プロセス向けに設計された高品質のエッチャー/アッシャーです。プラズマエッチングと反応イオンエッチング技術を組み合わせた高効率で信頼性の高いツールです。PD-270STAは、最適化されたエッチングパラメータのためのマルチセグメント機器、高精度の基板位置決めシステム、統合されたマルチガスデリバリーユニットなど、パフォーマンスを最大化するためのさまざまな高度な機能を備えています。SAMCO PD-270STAのマルチセグメンタルユニットは、エッチングチャンバーの各エリアに最適化されたエッチングパラメータを設定できるため、エッチング効率と均一性の向上を実現します。セグメントごとに動作時間、電力、ガス流量などのパラメータを設定し、基板のエッチングまで可能です。PD-270STAの高精度な基板位置決めツールは、幅広い基板材料の正確な処理を保証します。このアセットは、0。008インチから6インチまでのさまざまな基板を処理するための12ビットの高解像度の横方向および10ビット垂直移動が可能です。統合されたマルチガス搬送ユニットは、反応ガスを正確に混合することにより、エッチング処理の効率を最大限に高めるように設計されています。このユニットは、エッチングの均一性を高めるために基板上のプラズマの均一な分布を保証します。SAMCO PD-270STAは、最大250ワットのプラズマパワーと0。7ミクロン/分までのエッチング速度で、高周波と低周波の両方で動作できます。このデバイスは、酸化ケイ素エッチング、シリコンエッチング、金属エッチングなどのマイクロエレクトロニクス製造プロセスに適しています。PD-270STAは、マイクロエレクトロニクスの生産にかかる時間とコストを節約するために設計された、信頼性の高い費用対効果の高いエッチングモデルです。その高度な機能は、さまざまなエッチングプロセスやアプリケーションに最適なツールです。
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