中古 SAMCO PD-2400L #9267235 を販売中

SAMCO PD-2400Lは、お客様が指定した基板のエッチングプロセスを実行できる汎用性の高いイオンエッチャー/エイサーです。正確なドーピングのための周波数調整可能なRF電源を備えており、幅広いパワーでエッチングすることができます。この装置は、反応ガス成分の精密な流量制御を可能にする高度なコンピューター制御インジェクションユニットを備えたガス混合システムを使用しています。PD-2400はまた、プラズマ、高圧洗浄、ウェットケミカルオプションなど、さまざまな洗浄オプションを提供しています。PD-2400のRFソースは、超低ノイズDCソースに接続された一連のチューニングコンデンサで構成されています。これにより、600kHzから4.5MHzまでの範囲のRF周波数の調整が可能になり、カスタマイズされたエッチングがお客様のプロセスの基準を満たすことができます。調整可能なRFソースは、最大2400Wの電力を生成することができ、出力レベルは0〜100％の間で調整可能です。PD-2400の供給機は、化学エッチング工程に幅広いガスを供給することができます。これらには酸素、窒素、六フッ化硫黄などが含まれる。このツールはガスを混合することもでき、各コンポーネントの流量は正確に制御されます。これにより、プロセスはより効率的で費用対効果が高くなります。このアセットは、エッチングプロセスの標準的なPC制御を備えており、ユーザーはエッチングパラメータと入出力パラメータをプログラムすることができます。また、ユーザーインターフェイスにより、現在のエッチングサイクルを簡単に監視したり、プロセスを開始および停止したり、特定のパラメータを設定したりできます。また、PD-2400Lには様々な便利な安全機能が搭載されています。これらには、問題が発生した場合に機器の電源を遮断する自動シャットオフモデルと、イオン化された粒子の蓄積を防ぐためのイオン化検出器が含まれます。さらに、システムのサイドシールドは、エッチング工程中に脱出する腐食性ガスから作業領域を保護するように設計されています。SAMCO PD-2400Lは、さまざまなガス成分を使用した幅広いエッチング処理が可能な汎用性の高いエッチャー/アセールです。調整可能なRF周波数と調整可能な電力は正確なエッチングを保証しますが、安全機能とユーザーインターフェースの配列により、このユニットはあらゆるエッチングプロジェクトに最適です。