中古 SAMCO PD-200D #9048862 を販売中

SAMCO PD-200Dは、半導体および電子機器製造における高品質のエッチングおよびアッシング用途向けに設計された特殊エッチャー/アッシャーです。このモデルは、デリバリーシステムとプロセス制御システムを統合した、ウェットエッチングとドライエッチング、アッシングプロセスの両方で動作するデュアルチャンバーのベンチトップ機器です。PD-200Dシステムは、高精度エッチングとアッシングのためのクローズドエッチングチャンバーを備え、正確な温度制御とプロセス監視を備えています。高品質なエッチングまたはアッシュ表面を高いスループットで再現性に優れ、酸素、アルゴン、六フッ化硫黄、水酸化アンモニウム、塩酸など様々なガスや化学物質に使用できます。また、ユーザー固有のニーズに合わせたプロセスレシピで最適なアッシング性能を実現する高度なプロセスフロー制御技術も搭載しています。使いやすいソフトウェアとデータ収集機能により、ユーザーはレシピを保存または転送したり、プロセスパラメータを構成したりできます。SAMCO PD-200Dには、ガスおよび機器の検証だけでなく、プロセスの監視と記録も含まれており、最適なプロセス性能と精度を保証します。エッチングチャンバーでは、金属やセラミック基板を真空で加工することができ、狭い場所や難しい場所での高精度エッチングやアッシングが可能です。エッチングチャンバーはロードロックを備えており、ユーザーのニーズに合わせてプログラミング可能なプロファイルでガスおよび化学的損失とフロー制御を最小限に抑えます。圧力は真空ゲージで制御され、機械にはガス分布を正確に測定および制御するためのマスフローコントローラが装備されています。アッシングチャンバーには、PC制御のプログラム可能な熱有機蒸気源が装備されており、繊細な基板上で精密かつ再現可能なアッシングが可能です。部屋は0°Cと200°Cの間の調節可能な範囲と温度制御されます。全体として、PD-200Dは精密なプロセス制御、高いスループット率、および優れた再現性により、品質のエッチングとアッシングの最高水準を満たすように設計されています。