中古 SAMCO PC-1100 #293802272 を販売中

SAMCO PC-1100は、半導体産業の高度な微細加工プロセス向けに設計されたエッチングおよびアッシング機です。高度なエッチングとアッシング機能、高いスループット率、高い精度と再現性、高度な制御装置は、幅広いデバイス製造プロセスに適しています。この機械の中心には、化学蒸着（CVD）、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、電子サイクロトロン共鳴（ECR）、マグネトロンスパッタリング、ウェットエッチングなど、幅広いエッチング技術をサポートできる特許取得済みのエッチングヘッドがあります。エッチングヘッドには、均一なエッチングおよび/またはアッシングを支援する適切なヒーターが装備されています。PC-1100のエッチヘッドのセットアップと使用は、提供される5軸ステージ、オートフォーカスナビゲーションシステムを備えた顕微鏡、およびオンボードトルクジェネレータによってさらに促進されます。SAMCO PC-1100は、50nmの寸法で構造や機能をエッチングすることができるため、最小限の時間で正確なターゲット作成が可能です。特許取得済みのEasy Setup Wizardは、ターゲットのエッチングパラメータを簡単かつ正確にプログラミングできるため、設計者は簡単にデバイス構造を簡単に作成できます。また、再現性の高いエッチングにもプログラムすることができ、望ましいデバイス特性を達成するために複数サイクルのエッチングが不要です。PC-1100は、エッチング工程中に基板とチャンバーの両方の温度を制御するためのマルチゾーン温度コントローラも備えています。さらに、マルチゾーンコントローラは、エッチングスロープを制御するための微調整機能も提供します。SAMCO PC-1100はまた、オペレータの安全と機器の保護を確保するために、高圧水検出ツール、不活性ガス制御資産、室圧監視モデル、真空監視装置などの包括的な安全機能のセットをサポートしています。結論として、PC-1100は高度な技術で構築された高度なエッチングおよびアッシング機であり、より高いスループット率、高い製造精度、および再現性を提供します。複雑で複雑なデバイス構造を製造するための信頼性と容易な方法を提供し、高度な半導体デバイスのアプリケーションでの使用に最適です。