中古 SAMCO PC-1000 #9292551 を販売中

SAMCO PC-1000エッチャー/アッシャーは、フォトリソグラフィープロセスで使用される高機能機器です。このツールは、回路基板およびその他の基板上のフォトレジスト材料の高精度エッチングおよびアッシング用に設計されています。PC-1000は、赤外線（IR）光を加熱して照射する反応ガスを充填した反応室を利用し、エッチングやアッシング時のパラメータを正確に制御することができます。基板またはサンプルをチャンバーに配置し、チャンバーの蓋を閉じて機械を作動させることによってプロセスが開始されます。活性化されると、プロセスは反応室の加熱と反応ガスの導入から始まります。このガスは通常、酸素とフッ素含有化合物（CF4など）の組み合わせである。この機械は、ガスを所望の温度に加熱するために、制御された量のレーザー出力をチャンバーに供給します。その結果、プラズマツールプロセスが実現しました。このプロセスは高精度であり、厚さ0。5〜10mmの基板上のフォトレジスト材料をエッチングまたはアッシャーするために使用できます。SAMCO は、 深度の最小フィーチャーパターンで最大1：50のアスペクト比を生成 ます。結果として得られるエッチングまたはアッシュパターンは、チャンバー内の高度に制御された環境のために非常に精密です。精密エッチングおよびアッシング機能に加えて、基板温度、チャンバー圧力、およびその他のパラメータPC-1000測定することもできます。統合されたソフトウェアは、オペレータが監視することができます、だけでなく、制御、ワークステーションからのエッチパラメータとプロセス。このソフトウェアはまた、マッピング機能を提供し、ユーザーはビットマップ画像をエッチパターンに変換することができます。SAMCO PC-1000は、基板や基板上のフォトレジスト材料の高精度エッチングやアッシングに使用される信頼性の高いツールです。チャンバー内部の高精度な環境と統合されたソフトウェアにより、フォトレジストエッチングおよびアッシングプロセスでこれまで達成できなかった精度と精度を実現できます。PC-1000は、フォトリソグラフィープロジェクトに理想的な選択肢です。フォトレジスト材料のエッチングとアッシングに信頼性が高く、費用対効果の高い方法を提供します。