中古 SAMCO PC-1000 #293810546 を販売中
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SAMCO PC-300は、実験室や製造施設で使用するために設計されたプロフェッショナルグレードのエッチングおよびアッシングシステムです。ウエハーと基板を直径9。6インチまで取り扱うことができる、完全に自動化された3軸の光学システムです。PC-300は、高精度で再現性のあるシリコン、ヒ素ガリウム、リン酸インジウムなど、さまざまな材料をエッチングして灰にするために使用できます。SAMCO PC-300エッチャー/アッシャーは、高精度のエッチングと灰を可能にするスキャン電子ビームを備えています。ウェハの薄型化、整流、バックエッチング、pバッファ調整にも使用できます。ビームは数値制御されたガルボミラーによって指示され、スムーズなX-Y平面で正確にビームを導きます。オペレータは、エッチングまたはアッシュされるスポットの位置、形状、サイズをプログラムできます。また、ビームは、複数のパターンや「ダンス」ドットを作るためにプログラムすることができます。PC-300はまた、プロセス制御パラメータの多種多様を誇っています。これらには、プロセス時間、ビーム電流、エネルギー、圧力、加速度、パスおよびスキップ角度、ビームフォーカスが含まれます。これにより、ユーザーはエッチングとアッシングのプロセスを微調整し、現代の製造の高い要求を満たすことができます。SAMCO PC-300は、リアルタイムプロセス監視と直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)も備えています。これにより、ユーザーはプロセスパラメータを簡単に監視し、必要に応じて是正措置を講じることができます。PC-300は、最新の研究および製造設備のニーズを満たすように設計された堅牢でコンパクトなエッチャー/アッシャーです。高精度、再現性、多種多様なプロセス制御オプションを提供します。SAMCO PC-300も非常にユーザーフレンドリーで、直感的なGUIがプロセスの合理化に役立ちます。PC-300は、精度と一貫性のあるさまざまな材料をエッチングして灰にしたい方に最適なソリューションです。
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