中古 SAMCO FA-1 #9279755 を販売中

SAMCO FA-1は、優れた基板洗浄およびコーティング除去用に設計された完全自動エッチングおよびアッシング機です。低温酸化・エッチング・アッシング法を活用した2段階の洗浄プロセスにより、優れた基材洗浄・コーティング除去を実現しています。酸化プロセスは、基板の表面に均一な酸化層を作成するために高周波、低電力の電流を使用します。エッチング/アッシング処理は、真空作動プラズマ源から高温高圧プラズマのジェットを使用して、酸化によって生成される酸化層を除去することによって動作します。この方法は、表面に到達するのが最も困難な場合でも、酸化物を除去する際に非常に効果的です。FA-1は1000°Cまでの温度の平面および非平面基板の両方でエッチング/アッシングが可能です。温度範囲は0°C ~ 1000°C、可変サイクル時間は20、40、60、または80分です。このシステムは、-1000 ~ 1000 mbarの可変エッチング/アッシング圧力範囲も提供しており、SAMCO FA-1はさまざまなエッチングおよびアッシング用途に最適です。FA-1に60mmx480mmの部屋のサイズがあり、異なったサイズの基質のエッチングそしてashingのための十分なスペースを提供します。SAMCO FA-1は、優れた基板洗浄とコーティング除去を提供する高速かつ効果的なエッチング/アッシングソリューションです。高い製品性能と安全基準を備え、エネルギー効率に優れた信頼性の高い自動化システムです。FA-1は基質のクリーニングおよびコーティングの取り外しが必要であるあらゆるエッチングかashing適用のための理想的な選択です。