中古 RENA CSE 150 #9225143 を販売中
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ID: 9225143
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2001
Cassette spray etcher, 6"
Wafer cassettes, 6"
Does not include SEMITOOL Spin Rinse Dryer (SRD)
Qty / Make / Model / Description
(1) / GEMU / - / Valve block assembly
(4) / PLASTIC TECHNOLOGIES / Removal heads
(5) / GEMU / - / Membram sets
(2) / DI-SORIC / - / Fork light cabinets
(2) / GEMU / TYP 640 / Ventilantriebs
(1) / MEGGIT / CVS100 M2 / Vibrationsschalter
(8) / SKF / Explorer 6210-2RS1 / Ball bearings
(2) / - / - / Membranes
(25) / SPRAYING SYSTEM / Nozzle sets / Plastic holders
(2) / MADLER / 16681900 / Drive belts
(1) / FESTO / 19199 / Air cylinder
(1) / ALMATEC / - / Pump part
(2) / RENA / 20705 / Fan jet nozzles
(3) / RENA / 34601 / Duses
(10) / RENA / 2085227 / Locking plates
(1) / ENTEGRIS / - / PFA Elbow fitting
(4) / - / - / O-Rings
(2) / - / - / Adapter carriers, 4"
2001 vintage.
RENA CSE 150は、エッチャー/アッシャーであり、特に最大150ウェハの小型バッチ用に設計されています。均一で一貫したエッチング加工が可能で、精密エッチング用途に最適です。温度制御された浸漬エッチングタンクと2段洗浄システムを備えています。第1段階は再循環された加熱された洗浄液を使用して表面汚染を除去し、第2段階は純粋なお湯を使用して残留残留物をすすぎます。CSE 150に0-50°Cから置くことができる発熱体があります信頼でき、一貫したエッチング率を得るための精密温度調整と。エッチングタンクは、最大の柔軟性と制御のために手動または自動充填モードのいずれかに設定できます。このユニットはまた、エッチングの濃度を監視し、エッチングの進行を追跡するための洗練されたシステムを備えています。RENA CSE 150は、全体的に頑丈なステンレス鋼で構成され、長期的な操作のために設計されています。ほこりなどの粒子を取り除き、クリーンなエッチング環境を実現する封止設計となっています。このユニットは汎用性が高く、多種多様なエッチング剤と互換性があります。また、ユーザーフレンドリーなインターフェイスとグラフィカルディスプレイを備えているため、エッチング処理を簡単に制御および監視できます。CSE 150は、すべての主要半導体メーカーの標準および仕様を満たすようにテストおよび認定されており、高精度コンポーネントのエッチングに最適です。堅牢な設計と高品質で、RENA CSE 150は信頼性の高い操作と今後数年間一貫した結果を提供します。
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