中古 RAMCO RAM8500-II #293625753 を販売中

RAMCO RAM8500-IIは、半導体生産のための高度なエッチャーとアッシャーです。これは、高速かつ信頼性の高いエッチング、アッシング、および除去プロセスのための高度な半導体プロセス技術を利用しています。このマシンは、生産のニーズに合わせて複数のプロセスオプションを提供し、柔軟性を最大限に高めるように設計されています。大量RAM8500-II生産ラインでは、1時間あたり最大250個のウエハを処理できます。エピタキシャルシリコン、バルクSi、ダイヤモンド基板など、さまざまなウエハサイズと基板に対応しています。このユニットには、セルフモニタリング、複数のインターロック、および危険ガス検出など、さまざまな安全機能が装備されています。このマシンは、4つのロードロックシステムを含む単一の自己完結型プラテンアセンブリで設計されています。これにより、プラテン表面全体で一貫した温度が保証され、最も敏感な基板でも確実に加工できます。プラテンアセンブリには、独立した温度帯と急速な加熱および冷却速度も備えています。RAMCO RAM8500-IIは、イオン化ガスエッチング、反応性イオンエッチング、プラズマアッシングなど、さまざまな高度なエッチングおよびアッシング技術を利用しています。この柔軟性により、最適な基板選択性とスループットを実現するために、処理パラメータを微調整できます。さらに、RAM8500-IIにはリークフォワードシステムが内蔵されており、エッチングおよびアッシングプロセスを正確に下方制御できます。これは、時間の経過とともに再現性と再現性のある結果を確保するのに役立ちます。RAMCO RAM8500-IIは、精密時間管理のためのプログラム可能なタイムベース、高品質のマスキングと急速な熱処理のためのラミネーションソース、短絡やアークから保護するための絶縁モジュールなど、プロセスを最適化するためのさまざまなコンポーネントを提供します。さらに、このマシンはさまざまな自動負荷/アンロードシステムと互換性があり、直感的でユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。RAM8500-IIは速く、信頼でき、反復可能な生産のために設計されている高性能のエッチャーおよびasherです。高度なプロセス技術、自己完結型温度制御プラテンアセンブリ、堅牢な安全機能を組み合わせることで、半導体生産環境に最適です。