中古 RAMCO RAM8500-II #293625751 を販売中

RAMCO RAM8500-II Asher/Etcherは、完全に自動化されたプラズマエッチングおよびアッシング装置です。それは研究および生産ラインの必要性のためによく適しています。このシステムは、金属や誘電材料を含むエッチングおよびアッシング用途の幅広い用途に設計されています。レーザー制御されたアッシングプロセスは、パルスレーザービームを使用して、基板の内面から材料を切断します。膨張チャンバーを使用してプラズマを含み、材料を切断するためのエネルギー量を増加させ、プロセスの再現性を向上させます。従来のウェットエッチングよりも、薄膜層のエッチングを高速かつ高精度に行うことができます。シングルチャンバー機には、高密度プラズマを生成するための電磁結合誘導コイルが含まれています。このプラズマは50nmを材料に浸透させ、エッチングおよびアッシング工程で高い精度を得ることができます。このツールはまた、内蔵のコンピュータ制御プロセス監視アセットを使用して、最適なプラズマパラメータとプロセス歩留まりを確保するためのリアルタイムフィードバックをユーザーに提供します。このモデルは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと簡単な監視と操作のためのグラフィカルディスプレイを含む完全に自動化されたプロセス制御を備えています。人間工学に基づいて設計された制御コンソールは便利なアクセスのための壁、机、またはテーブルに取付けることができます。RAM8500-IIは、ウェーハを安全に配置するためのトップクランピングアセンブリを装備しています。統合された監視装置は、操作中にチャンバーへのアクセスを防止することにより、最大の安全性を保証します。また、RFジェネレータは2.5MHzまでの高速エッチングを可能にしながら、機械を最適なパフォーマンスレベルで動作させるための堅牢な診断およびメンテナンスユニットを備えています。RAMCO RAM8500-IIは、エッチング、アッシング、およびその他の材料加工アプリケーションのための高効率で正確なツールです。このツールは、カスタム固有のアプリケーションにも設定できます。ユーザーフレンドリーなデザインと高度な機能を備えたRAM8500-II Asher/Etcherは、研究および生産アプリケーションに最適です。