中古 RAMCO Ram 5 #62126 を販売中

RAMCO Ram 5は半導体産業で使用される最先端のエッチングおよびアッシング機械です。IC、 MEMS、その他のマイクロエレクトロニクス部品などのデリケート部品のエッチングとアッシングに使用される、堅牢で高速かつ正確なツールです。Ram 5は、稼働時間、精度、再現性を最大限に活用し、クラス最高のエッチングとアッシング性能を提供します。RAMCO Ram 5は10 「x 14」まで部品を処理するための自動ローディングおよび荷を下すメカニズムを特色にします。メインチャンバーには、最大8「×12」の部品の積み下ろしとアンロードに使用可能なボリュームが増加しています。装置は、最大10 Torrのプロセス圧力で400ºCまでの温度で動作するように設計されています。不活性な大気を必要とするアプリケーションには、窒素ガスのオプションがあります。さらに、RFエッチングとアッシング処理により、歩留まりを向上させるためにエッチングとアッシュプロファイルを独立して最適化することができます。Ram 5には、手動および自動操作を提供するタッチスクリーンディスプレイ付きの強力なプロセスコントローラが装備されています。最大250ステップで最大10レシピを保存でき、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。このコントローラは、PC接続の集積回路テスター、および再現可能なエッチングとアッシングの結果を正確に処理できる自動計測にも対応しています。プロセスガス搬送システムは、正確な操作を保証し、繰り返し可能なエッチングと灰の結果をもたらします。また、温度、圧力、流量を一定に保つための高度なデジタルプロセス制御ユニットを内蔵しています。さらに、このマシンは、プロセスガスからの粒子汚染を除去するデュアルポケット統合粒子濾過ツールを備えています。RAMCO Ram 5は、安全性、信頼性、および性能の業界標準を満たしているプロフェッショナルグレードのエッチャーおよびアッシャーです。薄膜のエッチングやアッシング、相互接続層のエッチング、パターニング、イメージングなど様々な用途にご利用いただけます。高度なプロセス制御、高精度、再現性を備えたRam 5は、半導体製造業における高収量、費用対効果の高いプロセスに最適なツールです。