中古 RAMCO Ram 280 #293643660 を販売中

RAMCO Ram 280は、主に半導体の産業用エッチングおよびアッシング用に設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。この機械は、反応室、ガス制御、ロボット工学、圧力レギュレーションの洗練された組み合わせを使用して、最適なエッチングとアッシングの結果を保証します。この装置は、耐食材料で構成された真空チャンバーと、エッチングとアッシングの自動ロボットシステムを利用しています。ロボットアームには、遠隔制御された研磨工具、ピックアンドプレースユニットによるウェーハ操作、精密制御用の調整可能な圧力レギュレータが装備されています。圧力レギュレータは、最適なエッチングとアッシングの結果を得るためにガス供給を制御するために使用されます。直感的なユーザーインターフェイスには、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）とタッチスクリーンコントロールがあり、操作が簡単です。また、自動的にユーザーIDを検証し、パラメータや機能の広い範囲へのアクセスを可能にするソフトウェアを持っています。さらに、RAMCO MESソフトウェアスイートは、以前のプロセスからのデータへの永続的なアクセスと、パラメータと結果の効率的な追跡を可能にします。ラム280は真空チャンバーの温度監視用の温度制御機を装備しています。このツールには、温度センサ、熱電対、熱電対データロガーが含まれており、エッチングおよびアッシングプロセス中の温度を正確に制御できます。アセットは、高エッチング/灰の歩留まりと信頼性を確保するために、プロセス制御および監視機能を備えて設計されています。これは、プロセス変数のリアルタイム監視を提供するプロセス監視モデルで達成され、エッチング/アッシュプロセスの制御を可能にします。プロセス監視装置は、範囲外のプロセス変数を監視およびアラームするように構成することができ、正確なフィードバックと制御を提供します。さらに、このシステムには、生産および品質管理のためのデータ収集用のプロセストレーサビリティ機能が搭載されています。RAMCO Ram 280は、効率的で正確で信頼性の高いエッチャー/アッシャーユニットです。安全な動作環境を確保するために、ガス安全シャットダウン、温度監視、封じ込めなど、最高レベルの安全機能を備えています。プロセス開発環境でも生産環境でも、Ram 280は高品質のエッチング/灰の結果を提供します。