中古 RAMCO Ram 250 #9181898 を販売中

RAMCO Ram 250は、製造および実験室環境における産業および研究用途向けに設計されたエッチャーおよびアッシャーです。エッチング、アッシング、アブレーションの幅広いプロセスが可能で、ユーザーはエッチングとアッシングのプロセスを制御できます。Ram 250は12インチ×14インチの容量結合チャンバーを備えており、外部ソースからの汚染を最小限に抑え、均一なエッチングプロファイルを提供するように設計されています。部屋はステンレス鋼のふたおよび合金によって絶縁された壁と組み立てられ、単一のフォトマスクのホールダーを含んでいます。Ar、 O2、 CHF3などのエッチングケミストリーを使用して、最大10インチウエハを処理できます。このシステムは、0。2-2。0 Torrの圧力範囲で動作し、ウェットおよびドライエッチングの両方の化学物質において、ハイレートおよびハイセレクティビティエッチングの両方を可能にします。RAMCO Ram 250はエッチング機能に加えてアッシング機能も備えており、フォトレジスト被覆層を基板から選択的に除去することができます。直径10インチ、厚さ4インチまでの基板加工が可能です。アッシングに加えて、スパッタクリーニング、デポジットエッチング、エッチングおよびリンスプロセスも提供します。Ram 250には、デュアル周波数RF電源、調整可能なガス・フロー、デジタル読み出し、オンボードの安全および校正制御など、研究開発アプリケーションに適したいくつかの機能があります。また、複数のプロセスチャンバーに6ポートのロータリーバルブを提供し、複数の基板を同時に処理できるようにします。安全面では、RAMCO Ram 250は労働安全衛生管理（OSHA）要件に準拠するように設計されており、研究室への潜在的な有害ガス排出を排除するためのノベントシステムが装備されています。また、EEC、 UL、 CSAが承認されています。全体的に、Ram 250は汎用性の高いエッチャーとアッシャーで、エッチングとアッシングの両方の機能をコンパクトで使いやすいユニットで提供します。それは信頼できる性能のために設計され、安全および効率のための複数の特徴があります。RAMCO Ram 250は、さまざまなエッチングおよびアッシング用途向けの信頼性と汎用性の高いエッチャーとアッシャーを求めるラボやメーカーに最適です。