中古 RAMCO 8500-II #9097144 を販売中

RAMCO 8500-IIは、エッチャー/アッシャー装置であり、化学エッチングおよびアッシングプロセス用の多機能プラットフォームです。エッチング、アッシング、ウェット処理、およびウェーハ洗浄の最も完全な範囲を提供しています。8500-IIは、高い歩留まり、高精度のプロセスコントロールユニットを備えたエッチングプロセスの精密制御用に設計されています。これは、高度な統計プロセス制御（SPC）技術を備えた完全にプログラム可能な多機能プロセスコントローラを備えており、重要なプロセスパラメータを最大限に制御します。RAMCO 8500-IIは、半自動および手動操作モードで高精度で再現性のある処理結果を提供します。8500-IIのモジュール設計により、混乱を最小限に抑えて既存のウェット処理環境に容易に統合できます。2基のエッチングエンジンを搭載しており、1サイクルで複数のエッチング・クリーニング機能を実行できます。モジュラー設計には、高速冷却チラー、自動洗浄機、抵抗センサ、および複数の基板ホルダーなど、さまざまなオプションデバイスも含まれています。RAMCOの高度なエッチング機能8500-II、最も厳しい設計仕様に対応する高解像度のパターンをユーザーに提供します。優れた編集機能を備えた高精度エッチングを提供し、細かい細部にマテリアルを手動で追加および削除できます。8500-IIは、プロセス開発を簡素化するために、さまざまな自動エッチングレシピを提供しています。さらに、様々なガスやプラズマ源による手動エッチングをサポートし、エッチングプロトコルをさらにカスタマイズすることができます。また、クリーンルーム対応のエッチング環境を確保するためのアクティブな排気制御メカニズムも備えています。RAMCO 8500-IIは、制御された圧力および温度アッシングツールを使用して、幅広いアッシング機能を提供します。高度なアセット設計により、ユーザーは最高の精度でアッシング操作を行うことができます。さらに、自動化されたレシピにより、ユーザーはプロセス時間を大幅に短縮できます。8500-IIでは、工具モニタリング、ウェハローディング/アンロード、チャンバークリーニング/改修、予防メンテナンス、モデルキャリブレーションなど、さまざまな生産およびメンテナンス機能を提供しています。モジュール式でアップグレード可能なため、特定のニーズに合わせて機器をカスタマイズし、生産スループットを向上させることができます。直感的なユーザーインターフェイスとプロセス中心の設計により、RAMCO 8500-IIはあらゆるエッチングおよびアッシング環境に多目的で信頼性の高い付加物です。