中古 QUESTER / ALCANTECH MAS 801 #9226083 を販売中

QUESTER / ALCANTECH MAS 801
ID: 9226083
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1990
Etcher, 6" 1990 vintage.
QUESTER/ALCANTECH MAS 801は、さまざまなマイクロエレクトロニクス、MEMS、およびオプトエレクトロニクス製造アプリケーションで使用するために設計されたハイエンドエッチャー/アッシャーです。QUESTER MAS 801は、64ビットのマルチコアプロセッサ、8GB RAM、および500GBのストレージを備えた、高性能で現場でアップグレード可能なコンピュータ機器で構成されています。また、8ポジションリニアステージ、12ポジションスピンドル、エッチング/アッシングパラメータを正確に制御する高精度アナログコントロールなど、さまざまなハードウェアコンポーネントも含まれています。このシステムは、精密なプログラミング、アライメント、およびリアルタイム監視のために複数の制御モジュールをサポートし、さらに複雑な操作のための追加のセンサー、プロセスチャンバー、およびデバイスを装備することができます。このユニットは、ステンレス製の構造、密閉されたドアとコンパートメント、およびUL承認された電源を備えた、自動車業界標準に準拠しています。ALCANTECH MAS 801は、ドライエッチング、蒸気相エッチング、ウェットエッチング、アッシングなど、さまざまなエッチング/灰プロセスをサポートするように設計されています。また、統合された真空システム、ロボットアーム機能、安全監視、エッチング化学を制御するための特別な冷却システムも備えています。MAS 801は、複雑なエッチングジョブやアッシングジョブに優れた柔軟性とパフォーマンスを提供し、直感的なGUIコントロールと、迅速なセットアップとプログラミングのための包括的なプロセス設定ライブラリで設計されています。また、相互相関アライメント、自動プリエッチングステージ準備、自動プロセス制御、オンボードモニタリングなど、幅広い高度な機能を備えています。このツールは、KOHエッチング、高アスペクト比エッチング、フォトアシストエッチング、MEMS加工など、幅広い用途に適しています。QUESTER/ALCANTECH MAS 801は、現場でのプロセス制御とさまざまなインテリジェント機能を組み合わせた革新的な設計を特徴としています。この柔軟性と精度の組み合わせにより、エッチングとアッシングのパフォーマンスが成功し、製品の損傷と結果の変化を最小限に抑えることができます。このアセットはまた、生産設備の要求に合わせてプロセスレシピやパラメータ設定などのさまざまなカスタムオプションをユーザーに提供し、品質およびプロセス制御の業界標準を満たします。
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