中古 QUESTER / ALCANTECH MAS 801 #9226082 を販売中

QUESTER / ALCANTECH MAS 801
ID: 9226082
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1990
Etcher, 6" 1990 vintage.
QUESTER/ALCANTECH MAS 801は、アルミニウム表面処理市場向けに設計された信頼性の高いバッチエッチャーです。このドライフィルムIBSエッチャーは、高度なマイクロエッチング技術を利用して、均一性と再現性を兼ね備えた完璧な構造を再現しています。フルスペクトルのUV光源により、タイトなプロセスウィンドウ要件に対して効率的で信頼性の高いプロセス制御を安全に実現します。機械は供給速度、温度および処理速度の独立した制御を可能にする調節可能なコンベヤー装置が装備されています。また、自動ウェーハリフティングシステムを搭載しており、ウェーハが毎回同じ位置でプロセスチャンバーに入ることを保証します。パーティクルフィルターユニットを内蔵しており、フィルターの寿命を延ばすだけでなく、ウェーハの効率的な搬送のための真空搬送機も備えています。さらに、QUESTER MAS 801には、高度なアークガウジングヘッドと、最大限の安全性を確保するための封筒が付属しています。このエッチャーは、マイクロエレクトロニクス制御の投薬バルブユニットも備えており、エッチングソリューションの正確かつ一貫した制御を可能にします。イオンエッチノズルは、優れた汎用性のためにツールに追加することもできます。さらに、ALCANTECH MAS 801には、自動読み込みや自動クリーンアップなどの高度な機能を提供するインフィードアセットが含まれています。このマシンにはオンボードグラフィックユーザーインターフェイスも装備されており、ユーザーはモデルパラメータを素早くプログラムして制御することができます。MAS 801は、精密かつ再現性の高いアルミニウムエッチング結果を連続生産で達成できる費用対効果の高いエッチャーです。高度なアークガウジングヘッドと信頼性の高いパーティクルフィルター装置により、高品質で高速なエッチング要求に対応します。
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