中古 QUESTER / ALCANTECH MAS 801 #293592866 を販売中

QUESTER/ALCANTECH MAS 801は、半導体産業のプロセスに特化した高度なエッチャー/アッシャーです。シリコン、アルミニウム、二酸化ケイ素などの導電性材料や抵抗性材料をはじめ、多種多様な半導体材料の高精度エッチング・アッシングが可能です。QUESTER MAS 801は、2つのALCANopro Pulse RFとDCジェネレータを備えた3次元真空チャンバーを備えており、非常に精密で均一な電力配分を提供することができます。この機能により、このユニットはエッチング処理に特に役立ち、高精度と低粒子レベルを確保します。ALCANTECH MAS 801には、さまざまなチャンバーサイズに対応できる大型セラミックエッチングチャンバーがあり、お客様が希望する最終製品に基づいてエッチング構成を調整することができます。MAS 801のエッチング機能は、精密なガス流量制御および監視装置によってさらに強化され、エッチング速度とサイドウォールプロファイルを正確に制御できます。この精密な制御により、エッチングプロセスの制御と精度を向上させ、欠陥を低減し、より高いスループットを実現します。QUESTER/ALCANTECH MAS 801には高度な排気濾過システムも搭載されており、オペレータはプロセスを最大限に制御できます。高効率フィルターにより、エッチングガスでオイルや微粒子などのクリーンルーム汚染物質が排出されないようにします。このろ過装置はまた区域の騒音レベルを非常に減らし、オペレータの安全を保障します。QUESTER MAS 801には、セルフロック式の安全扉、ガス過圧監視機、包囲された冷却ツールなど、数多くの安全機能があります。ALCANTECH MAS 801の巧みに設計された冷却アセットは、エッチングチャンバーをできるだけ早く冷却し、サーマルショックによる事故のリスクを低減します。MAS 801は信頼性が高く、正確で強力なエッチャー/アッシャーです。その高度な機能は、エッチングと安全性の両方において、最小限のオペレータの監督で最も要求の厳しい環境で使用することができます。