中古 PVA TEPLA / TECHNICS Micro PD 900 #26349 を販売中

PVA TEPLA/TECHNICS Micro PD 900は、半導体の研究開発のための高度で高性能なエッチングおよびアッシング装置です。これは、高速サイクルタイム、正確な温度制御と優れたプロセス監視を可能にする機能の組み合わせが装備されています。TECHNICS Micro PD 900は、最適な速度とトルク制御のためのダイレクトドライブモーターを搭載しています。暖房の要素は非常に有効である良質のニッケルクロム合金です。温度範囲は25˚Cから900˚Cまでで、幅広いエッチングおよびアッシングプロセスを提供します。また、コントロールパネルには低熱ドリフトとデジタルディスプレイを備えています。PVA TEPLA Micro PD 900は人間工学に基づいた設計で、操作とメンテナンスが簡単です。チャンバー寸法は8インチ（L）×8インチ（W）×12インチ（H）で、内部空間は最大5インチの深さの部品に対応できます。また、クーラントと排気ガスに簡単にアクセスできる4つのバックサイド接続を備えています。機械は深いエッチング、昇華、酸化および除去を含むプロセスの範囲を実行できます。ユニークなハイドロシリングモードで均一なエッチングが可能です。さらに、このツールは、アッシング中の粒子を減らすための効率的な洗浄資産を持っています。Micro PD 900には、自動シャットオフ、過熱センサー、圧力制御を含む高度な安全モデルもあります。これにより、信頼性の高い安全な操作が保証されます。このエッチャー/アッシャーは、さまざまな材料のエッチングとアッシングのための包括的な機器を研究者に提供します。その先進的な機能により、半導体の研究開発に最適なシステムとなっています。