中古 PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 380P #293798850 を販売中

PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 380P
ID: 293798850
Plasma systems.
PVA TEPLA/TECHNICS GIGAバッチ380Pは、さまざまなエッチングおよびアッシング用途向けに特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。TECHNICS GIGAバッチ380Pにはポテンショスタットの外部接触があり、レジストエッチングとプラズマアッシングの両方のアプリケーションで低レベル電流を制御できます。このデバイスは小さなフットプリントを備えているため、狭いスペースでの使用に最適です。さらに、PVA TEPLA GIGAbatch 380Pにはプロセス監視と操作監視の両方があり、必要に応じてシステムの最適化が可能です。GIGAbatch 380Pは、処理パラメータの正確な同期を提供し、正確で信頼性の高いエッチングとアッシングプロセスを可能にします。さらに、エッチャー/アッシャーには最適化された前駆体とガス分布が装備されているため、デバイスは非常に効率的です。さらに、PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatch 380Pは、高いエッチレートと低い欠陥の両方を生成するように設計されています。エッチャー/アッシャーには不活性チャンバーと正確な温度と圧力制御が装備されています。これにより、デバイスとユーザーの両方の処理精度と安全性が保証されます。チャンバーはテフロン製で、耐久性が高く、清掃が簡単です。また、TECHNICS GIGAバッチ380Pは、エッチング、アッシング、反射防止コーティング、金属、ポリシリコン、エピタキシーシリコンなど、さまざまな材料のバックエッチングが可能で、汎用性の高いデバイスです。PVA TEPLA GIGAバッチ380Pは、アナログ入力とデジタル入力の両方を備えた内蔵コントローラを備えているため、デバイスは非常にユーザーフレンドリーです。LCDのタッチ画面はまたプロセスの容易な操作そして監視を可能にします。さらに、このデバイスは、潜在的なプロセスエラーについてユーザーに警告するインテリジェントな監視システムを備えています。全体的に、GIGAbatch 380Pは、さまざまなアプリケーションに理想的なエッチャー/アッシャーです。最適化された前駆体およびガス配分、温度および圧力制御およびLCDのタッチ画面のような特徴は、PVA TEPLA/TECHNICS GIGAbatchを有効で、信頼できる装置380Pします。
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