中古 PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 380P #293744535 を販売中

PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 380Pは、半導体、MEMS、および高度な包装業界における基板の精密かつ均一な処理を提供するように設計された高性能プラズマエッチャー/アッシャーです。この先進的な装置は、革新的な技術と優れたエンジニアリングを組み合わせて、幅広いアプリケーションに一貫した信頼性の高い結果をもたらします。TECHNICS Gigabatch 380Pの中心には、高効率プラズマを生成し、さまざまな材料の低温処理を可能にするデュアル周波数容量結合プラズマ（CCP）ソースがあります。このシステムは、複数のガス入力を備えており、プロセス化学を正確に制御し、高い選択性と均一性を持つ各種基板のエッチングまたはアッシングを可能にします。PVA TEPLAギガバッチ380Pは、高いスループット能力を備えた大型チャンバーを備えているため、複数のサンプルを同時または大面積の基板に処理するのに適しています。小型ウエハーから300mmウエハーまで、さまざまなウエハサイズに対応できるように設計されており、さまざまな研究や生産ニーズに柔軟に対応できます。プロセスの柔軟性と最適化のために、Gigabatch 380Pには高度なプロセス監視および制御機能が装備されています。光放射分光法（OES）やマスフローコントローラなどのリアルタイムプロセスモニタリングツールにより、正確で正確なプロセスパラメータ調整が可能で、目的の結果を一貫して達成できます。PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 380Pは、特定のアプリケーション要件を満たす幅広いプロセスレシピとカスタマイズ可能なパラメータを提供します。直感的でユーザーフレンドリーなインターフェースを使用してプロセスシーケンスを簡単にプログラムおよび変更でき、エッチングまたはアッシングプロセスを柔軟に制御できます。安全性と信頼性の観点から、TECHNICS Gigabatch 380Pは、オペレータの保護と環境コンプライアンスを確保するために、堅牢なプラズマ封じ込めと排気システムで設計されています。このマシンは、潜在的な危険を防ぎ、安全な動作環境を維持するための包括的な安全インターロックとセンサーを備えています。PVA TEPLA Gigabatch 380Pのメンテナンスとサービスは簡単で効率的で、重要なコンポーネントやモジュール設計に簡単にアクセスして、すばやく交換またはアップグレードできます。このツールは、長期的なパフォーマンスと信頼性を確保し、ダウンタイムを最小限に抑え、生産性を最大化するために、高品質の材料とコンポーネントで構築されています。全体として、Gigabatch 380Pは最先端のプラズマエッチャー/アッシャー資産であり、高度なプロセス機能、正確な制御、および要求の厳しい半導体およびマイクロエレクトロニクスアプリケーション向けの高スループットを提供します。PVA TEPLA/TECHNICS Gigabatch 380Pは、革新的なデザイン、パワフルなパフォーマンス、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備え、高品質で効率的な基板の精密で均一な処理を実現しようとする研究者やメーカーにとって貴重なツールです。