中古 PVA TEPLA / TECHNICS Gigabatch 380P #293637792 を販売中

ID: 293637792
Plasma system.
PVA TEPLA/TECHNICS GIGAバッチ380Pは、バッチからインライン生産まで幅広い用途に適したハイエンドエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、真空ベースのプロセスとハイスループット生産のための最適化された技術を備えています。TECHNICS GIGAバッチ380Pは、レシピ駆動ソフトウェアを備えた高度なプロセスコントロールユニットを使用しているため、簡単で繰り返し可能なプロシージャ設定と継続的なプロセス最適化が可能です。機械の組み込みプロセス分析機能は、再現性と最適なプロセス結果をさらに保証します。さらに、すべてのプロセスパラメータは、ユーザーフレンドリーなタッチパネルから調整可能であり、PCにリンクすることができます。TEPLAPVA TEPLA GIGAバッチ380Pをほぼすべての生産環境に合わせて調整できるようにします。GIGAbatch 380Pの物理的なビルドに関しては、頑丈で頑丈な10インチウエハ(200mm)がサポートされており、反復可能で一貫したエッチング処理が保証されています。このウェーハは、バッチ全体にわたって均一な分布と均一なプロセス結果を持つ均一なエッチングを特徴とする12 a 25mm基板を処理することができます。さらに、インライン粒子フィルタにより、エッチング処理が汚染から解放されます。PVA TEPLA/TECHNICS GIGAバッチ380Pには、さまざまな高度なプロセス化学フィードと液晶ディスプレイ(LCD)モニターがあり、すべての材料の一貫した安全な処理をさらに保証します。このツールはまた、効率的な反応濃度のために、低レベルの液体消費を提供します。最後に、TECHNICS GIGAbatchに統合された安全機能380P、ユーザーの安心を確保します。この資産は、最高レベルの精度、信頼性、品質管理を提供しながら、安全かつ安全に運用できるように設計されています。この徹底した試験は、製品の寿命を通じて、エッチング/アッシングプロセスのプロセスの安定性と転送性を確保するのに役立ちます。
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