中古 PVA TEPLA / TECHNICS GigaBatch 360 P #293637817 を販売中

ID: 293637817
Plasma system.
PVA TEPLA/TECHNICS GigaBatch 360 Pは、多種多様なアプリケーションに最適な高性能バッチエッチャーおよびアッシャーです。本装置は、低圧反応エッチングプロセスを採用し、これまでにない精度、精度、スループットで幅広いエッチングおよびアッシングワークフローを実現します。TECHNICS GigaBatch 360 Pは超小型設計で、金属、ポリマー、セラミックス、半導体デバイスなど、さまざまな基板や材料と連携できるように設計されています。マイクロミオティックコントローラを搭載した高度なプロセス制御ユニットを採用し、エッチングとアッシングプロセスを最適化して最適な結果を得ることができます。機械にまた容易な組み立ておよびプログラミングのためのプログラム可能な調理法の機能キーがあり、プロセス検証およびトラブルシューティングのデータを提供することができます。このエッチャー/アッシャーは、さまざまな材料に対して反応性の高いエッチングおよびアッシングのレシピを生成することができる高出力の低圧プラズマガンを使用しています。この銃は、エッチングとアッシングのレシピの広い範囲を提供することができ、ユーザーは特定のアプリケーションタイプにレシピを調整することができます。このツールには、強力でありながら使いやすいユーザーインターフェイスも含まれており、ユーザーはさまざまな基板材料のカスタムレシピをすばやく作成して保存できます。PVA TEPLA GIGABATCH 360Pは、二回転式の完全密閉型真空チャンバーを内蔵し、優れたエッチングとアッシングの結果を提供するとともに、清潔さと安全性を提供します。このチャンバーは、ガス漏れを最小限に抑えたガス流量の均一な分布を提供するように設計されています。さらに、チャンバーには連続排気フローを提供する換気ポートがあります。結論として、GIGABATCH 360Pは、精度、精度、最大スループットで優れたエッチングおよびアッシング結果を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。強力でありながら使いやすいユーザーインターフェイスにより、さまざまな材料のレシピをカスタマイズすることができます。また、統合されたダブルロータリーの完全に囲まれた真空チャンバーにより、ガスの流れ、清潔さ、安全性が均一に分布します。
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