中古 PVA TEPLA / TECHNICS 300 Autoload PC #9079804 を販売中
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ID: 9079804
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2007
Microwave plasma batch system, 6"-8"
Currently configured for 6"
PC Controller
Batch size: (25) Wafers per load
Ceramic chamber (φ x Depth): 9.6" x 15"
Microwave frequency: 2.45 GHz
Maximum power: 1000 W
(4) Gas channels
MFC Calibrated for N2
1000 SCCM
MKS Baratron capacitance manometer
Temperature control: IR Thermometer
Optical end point detector
MACTRONIX LTP-650E Automatic cassette loader
MKS Throttle valve
Loader
Vacuum pump not included
Power: 230 V, 16 A, 2 kW, Single phase, 50/60 Hz
CE Marked
2007 vintage.
PVA TEPLA/TECHNICS 300 Autoload PCは300mmの容量のエッチャー/アッシャー装置で、最大200um/minのエッチング速度を提供します。システムはXYZステージを使用して、PCBサーフェス内の希望のパターンをスクラッチします。このユニットには、エッチングラインの位置決め用のCCDカメラも含まれており、同じ場所でエッチングを繰り返すことができます。エッチャーはまた、Cu。Sn、 Nb、 Al、 Cu。Ni、その他の材料を含むターゲットの選択肢を提供します。PCは、空冷機を含む様々なアクセサリーでインストールすることができます。これにより、エッチングパターンの高速エッチングと品質向上が可能になります。このツールはオートフォーカス機能も提供しており、ビアなどの細かい機能をエッチングするときにレーザーの焦点を調整するために使用することができます。エッチャーには、コンピュータとのインタフェースのための外部制御インターフェイスを装備することもできます。これにより、アセットの操作が容易になり、ユーザーエラーを防ぐことができます。モデルは、パターンの作成と編集のためのソフトウェアの範囲を装備することができます。TECHNICS 300 Autoload PCは信頼性が高く、安定したエッチング結果を提供します。さらに、エッチング品質と速度を正確に制御できるように、幅広い切削パラメータを備えています。このシステムは、オペレータが常に安全であることを保証するための安全対策も組み込まれています。エッチングに加えて、複雑な回路の高精度で高精度な金属ラインを作成するためにも使用できます。これは、高解像度検出器を使用してビームのパワーとフォーカスを測定し、正確に調整して、均一で正確なラインを作成することによって実現されます。このようなラインは、複雑な回路でのクロストークの問題を減らすことができ、パフォーマンスの向上につながる可能性があります。全体的に、PVA TEPLA 300 Autoload PCは、幅広い用途に適した優れたエッチャー/アッシャー機です。高速・高精度・高信頼性を実現するとともに、エッチングを自動化し、ユーザーエラーのリスクを低減します。このツールはまた、より複雑なアプリケーションのためにコンピュータと簡単にインタフェースすることができ、高忠実性と正確なラインを作成するためのソフトウェアの範囲と組み合わせて使用することができます。
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