中古 PVA TEPLA / MERCATOR / MCS LF 5 #136887 を販売中

PVA TEPLA/MERCATOR/MCS LF 5は、フォトリソグラフィ、半導体、およびその他の関連産業で幅広いプロセスで使用されるように設計された先進的なエッチングおよびアッシング装置です。システムのユニークな機能と柔軟性は、さまざまなプロセスにとって信頼性が高く不可欠なコンポーネントです。このユニットは、高度なプラズマ技術を利用して、さまざまな産業用途で使用されるエッチングおよびアッシャー小型基板に技術を進歩させています。シリコンウェーハ、GaAs/GaN/InGaNなど、半導体製造に使用されるさまざまな材料を加工します。エッチャーは、MEMSアプリケーションで使用されるように、電気化学的にエッチングされたウェーハを処理することもできます。TEPLAMCS LF 5は、最大3つのプロセスチャンバーを備えた完全自動化ツールで、より大きな基板に簡単に対応できます。チャンバは最適な性能を得るために自動的に加熱および冷却され、アセットには圧力、温度、およびその他の変数を制御するためのさまざまなパラメータが含まれています。タッチスクリーンディスプレイを備えたインタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を使用して、ユーザーは主要な操作パラメータを表示し、必要に応じてチャンバーを変更することができます。ユーザーインターフェイスにより、操作中のプロセスをリアルタイムで監視することもできます。このモデルの革新的な技術は、極端な条件下でもエッチングとアッシング性能のバリエーションを最小限に抑え、優れたプロセス再現性を保証します。装置の迅速な応答時間と効率的な操作は、高いスループットと製品品質を提供し、工業プロセスにとって理想的な選択肢となります。TEPLAMERCATOR LF 5には、可変周波数制御やデジタル電源などのさまざまな追加機能が搭載されているため、迅速な加工と加工製品の精度を必要とするアプリケーションにとって不可欠なツールです。全体として、PVA TEPLA LF 5は、多様なプロセスに使用できる、汎用性と信頼性の高いエッチャーおよびアッシング・システムです。その高度な技術、ユーザーフレンドリーなインターフェース、効率的なパフォーマンスにより、工業および生産環境に最適です。