中古 PVA TEPLA 600 #68457 を販売中

PVA TEPLA 600は、多くの表面から二酸化ケイ素や窒化ケイ素を除去するために使用される高性能エッチャー/アッシャーです。このシステムは、高温で化学的に補助されたエッチングツールであり、エッチング速度さえあれば、二酸化ケイ素と窒化ケイ素の層を迅速かつ効果的に除去することができます。このシングルウェーハエッチャー/アッシャーは、優れた分解能と高いスループットと低消費電力性を備えているため、高い歩留まりと基板上の非常に正確なパターンが得られます。600はケミカルアシストエッチング/アッシャーで、表面は基板の表面と反応するプラズマと化学物質の両方で処理されます。アッシャーは、接着剤と電気接触性能を向上させるための超低残留物を可能にします。独自のローディング支援エッチングプロセスにより、均一なエッチング速度を実現し、高い歩留まりと優れた解像度を実現します。TEPLA PVA TEPLA 600は、再循環ケミストリーと周期的な消毒機能により、低い化学消費能力を提供します。再循環化学的特徴は、コストのかかる化学廃棄物を最小限に抑え、化学的補充のためのコストを最適化するのに役立ちます。この再循環技術により、エッチング速度の均一性も向上します。600は、拡張化学寿命を可能にする統合された自動化された化学再生システムを含んでいます。その他の機能には、プログラム可能な高電圧電源、完全なリソグラフィック投与能力、および柔軟なプロセスガス混合があります。自動ガス混合により、複数のエッチングレシピとロードロック構成が可能になります。反応制御改善のため、周期的な消毒とタイミング注入スキームが含まれています。PVA TEPLA 600は、二酸化ケイ素と窒化ケイ素の層をウェーハから除去するための理想的なツールです。化学物質の再循環やガスの自動混合などのハイテク機能と低消費電力を併せ持つことで、最小コストで最高の歩留まりで正確なパターンを実現します。