中古 PVA TEPLA 600-E #9000644 を販売中

PVA TEPLA 600-E Etcher/Asherは、薄膜のエッチングとアッシングのための完全に封入された自己完結型の機器です。プラズマを用いた精密なエッチングとアッシングを実現し、コンピュータによる完全自動制御により、研究開発やプロセス開発に最適です。600-Eは、信頼性の高い再現可能な操作とプロセス結果を保証するために、高品質のコンポーネントで製造されています。このエッチング/アッシングユニットは、薄膜の化学エッチングやアッシングにプラズマを利用しています。その低温プラズマ技術は、試料や製品表面に損傷を与える危険性のない安全な動作を保証します。プラズマは、特許取得済みの中空陰極リング内で生成され、エッチングまたはアッシングの汚染または腐敗の可能性を劇的に低減します。窒素や酸素などのプラズマ反応性ガスは、レギュレータを介して中空陰極リングに供給されます。プラズマは、エッチングとアッシングのプロセス中に狭いチャンバー内に含まれ、エッチングまたはアッシングが非常に正確な方法で行われることを保証します。PVA TEPLA 600-Eは、400Wの最大エッチング出力を備えており、複数の電力レベル、最大6kVバイアスで動作するため、非常に正確で制御されたプロセス条件を可能にします。機械のエッチング速度は0。5〜500mm/minの間で調整可能で、精密なエッチングが可能です。600-Eには温度制御ツールが装備されており、エッチングまたはアッシングプロセス中の温度の維持を支援します。この資産は、熱に敏感な製品や標本に損傷がないようにするのに役立ちます。PVA TEPLA 600-Eには、コンピュータ自動制御モデルも内蔵されています。この装置は、リアルタイムでエッチングプロセスを監視し、結果を正確に報告することができます。これにより、プロセスを最適化する際の学習曲線の高速化が可能となり、プロセス結果の信頼性が向上します。また、600-Eには自動ガスコントロールモジュールがあり、自動的にガスフローを調整してプラズマリアクタントの正確なガスフローを確保します。このシステムは、エッチングまたはアッシングプロセスの精度を向上させ、可能な限り最良の結果を保証するのに役立ちます。全体的に、PVA TEPLA 600-Eは、エッチングおよびアッシングプロセスを改善するために設計された多数の機能を備えた信頼性が高く、正確で使いやすいエッチング/アッシングユニットです。その様々な先進的な機能、精度、プロセス制御は、エッチングまたはアッシングプロセスから厳しい結果を必要とする人にとって理想的な選択肢です。