中古 PVA TEPLA 400 #293821967 を販売中
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ID: 293821967
ヴィンテージ: 2006
Microwave plasma system
Runtime: ~8000+ hours
Main unit only
Excluded items: vacuum pump, gas supply system
2006 vintage.
PVA TEPLA 400はPlasma-Thermが開発・製造するエッチャーおよびアッシャーです。この技術的に高度な装置は、エッチングまたはアッシングを必要とするさまざまなプロセスにとって貴重なツールです。半導体製造、マイクロエレクトロニクス、ライフサイエンス研究などの産業で使用されています。400は、次世代プラズマソース、プロセッサチャンバー、ソースチャンバー、ミニチュアMFCを収容する高度な真空プロセスツールで構成されています。プラズマソースはプロセッサチャンバーで制御されたプラズマを生成するために使用され、ソースチャンバーはより強力なプラズマを生成するために使用されます。ミニチュアMFCは、プラズマを制御するために使用されます。これにより、PVA TEPLA 400は、エッチングおよびアッシングプロセスを環境に安全な方法で正確に実行できます。400は精密で反復可能な結果を提供する能力で非常に効率的です。特許取得済みの音響浮上技術により、エチャントと加工ウェハの接触を排除し、非熱環境を実現します。これにより、ウェーハへのストレスを最小限に抑え、一貫したエッチング/アッシングプロセスを保証します。PVA TEPLA 400は、プロセスの安全性と安定性を確保するために設計されたさまざまな機能も提供します。ガスインターフェイス制御（GIC）システムは最適化されたRF電力供給を保証し、自動フッ化水素酸スクラバーは空中エッチングとアッシング残留物を排除します。さらに、400はプロセス診断機能を内蔵しており、オペレータはプロセスを迅速に分析して微調整することができます。PVA TEPLA 400は、プロセスエンジニアに優れた機能を提供するPlasma-Thermの洗練されたエッチャー/アッシャーです。高度な機能により安全性と制御性を最大限に高めながら、正確かつ再現性の高いパフォーマンスを実現します。400は、エッチング/アッシングプロセスを必要とする多くの業界にとって非常に貴重な資産であると確信しています。
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