中古 PVA 650 #9400631 を販売中

PVA 650は、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用されるプラズマエッチングのエッチャー/アッシャーです。半導体業界の要件を満たすように設計された高性能で技術的に高度なエッチャー/アッシャーです。650は、ステンレス製のチャンバーで構成されており、作業エリア全体に均一なプラズマエッチングまたはアッシャーを提供するように設計されています。その設計は、垂直エッチング穴（最大3mmの深さ）とシリコン、炭化ケイ素、窒化ガリウムなどのさまざまな種類の基板をエッチングすることができます。また、アルミニウム、銅、チタンなどの金属エッチングも可能です。PVA 650は10。4インチのディスプレイと直感的なタッチスクリーン操作を備えており、非常に使いやすいです。また、12 「x 12」の作業エリアと、迅速なスループットを実現する新しいチャンバーパージシステムも備えています。さらに、650は高周波バイアスを有しており、基板表面のイオンエネルギーを正確に制御することができます。また、最高300°Cの高温プロセス能力を提供し、最も要求の厳しいエッチングおよびアッシング要件を満たすことができます。PVA 650は優れた稼働時間で信頼性が高く、最高の労働条件を確保するために安全対策を講じて設計されています。人員と機器の両方を保護するために、さまざまなインターロックシステムが設置されています。また、自動化されたプロセスモニタリング、高度なレシピ、およびユーザーパスワード保護が実装され、定期的な操作とプロセス制御が容易になります。650は多目的な装置です、エッチングおよびアッシングの適用の広い範囲を可能にし、接触なしの包装、MEMSの製作、マイクロマシニングおよび多くを含むいろいろな分野にとって理想的です。さらに、この高度なシステムは、高いエッチング率、正確なプラズマ制御、効率的な再現性を提供し、真の生産と研究作業に最適です。