中古 PVA 650 #9374963 を販売中

PVA 650は、高度なシリコンおよびGaAs集積回路の製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。非常に汎用性の高い機械で、優れた精度と再現性でさまざまなエッチングパターンを生成することができます。650はICP （Inductively Coupled Plasma）ソースを使用しており、低圧プロセスを可能にし、低エッチング率と幅の比率を確保し、より高精度なエッチング作業に最適です。ICPソースはまた、再現可能な結果を保証するより高い均一性と再現性を提供します。PVA 650は非常に使いやすく、構成が簡単です。ユーザーインターフェイスは非常に直感的で、オペレータは目的の操作パラメータを簡単に選択できます。さらに、この機器には、複雑なエッチングの組み合わせのための設計ファイルの生成を自動化する特別なソフトウェアが含まれています。650は300-W無線周波数発生器によって動力を与えられます。これにより、プラズマエネルギーが迅速かつ効率的に転送され、シリコン、ヒ素ガリウムなどの幅広い材料を処理することができます。マシンのチャンバーの内部容積は241リットルで、高さは305 mm、内径は610 mmで、大きなエッチング面積を可能にします。PVA 650は、すべての動作コンポーネントの自己診断チェックも備えています。これにより、高い信頼性と耐久性を確保し、ダウンタイムを最小限に抑え、メンテナンスの必要性を低減します。このシステムはまた、ESDおよびアーク放電からのアノードおよびチャンバー保護、過熱防止のためのヒートアウェアユニット、および過圧保護など、さまざまな安全機能を提供します。650は完全なエッチングおよびアッシング機械であり、精密エッチング作業に必要な優れた性能と信頼性を提供します。そのパワフルで直感的なデザインは、あらゆる産業用エッチングプロセスに最適です。