中古 PVA 650 #9266554 を販売中

PVA 650は、金属、セラミックス、半導体を含む幅広い材料の成膜およびエッチング用に設計された先進的なリアクティブイオンエッチング（RIE）システムです。650は、高精度なアライメント、最大500mm/秒の燃焼速度、複雑な形状でも信頼性の高い結果をもたらす、コスト効率に優れた高度に自動化されたエッチャー/アッシャーです。最先端のリアクティブイオンビームエッチング（RIBE）技術を活用し、制御された高繰り返し可能なエッチングと蒸着結果を生成します。PVA 650の堅牢な設計により、外部パーティクルフィルターの必要性がなくなり、メンテナンスやクリーンアップを頻繁に行う必要がなくなります。そのハイエンドのオートメーション機能により、垂直、角度、自己整列操作など、複数の方向で信頼性の高い正確な処理が可能になります。650には、革新的なタッチスクリーンインターフェイスと高度なソフトウェアアルゴリズムが装備されており、高度な機能で繰り返し精度を確保しています。その高速全軸運動は、0。01 μ mの最高精度でエッチングと蒸着プロセスを駆動します。PVA 650には、クローズドループ制御、ブランクサイクル/ギャップサイクル、ターゲット形状/寸法プロセスモニタリング、コールドウォール/ホットウォール噴出、基板温度制御などの高度なプロセス制御機能が付属しており、高品質の成膜とエッチングが可能です。このシステムは、ステンレス鋼、アルミニウム、および特殊鋳造アルミニウムからフレームおよび治具の両方のために構築されており、優れた耐久性と耐食性を提供します。それは厳密な安全条件を満たし、ユーザーの安全のより高いレベルを提供するように設計されています。650は、石英、ガラス、感光膜などのさまざまな材料と互換性があり、6「および8」基板を処理することができます。また、エッチングおよび成膜結果に優れた結晶特性と微細で複雑なパターンを提供し、さまざまな用途に最適なシステムです。