中古 PVA 650 #293805825 を販売中

PVA 650はPaul V。 Andersonが製造したエッチャー/アッシャーです。ウェーハや基板の精密エッチング/アッシングを必要とする用途向けに設計されています。650は半導体装置の生産、研究開発、テスト、口径測定および生産ラインプロセス制御のために適しています。PVA 650は、エッチングに使用されるチャンバーとアッシングに使用されるチャンバーの2つのチャンバー機器です。エッチングチャンバーには4つの石英シャワーヘッドが装備されており、エッチングガスの総流量は毎分9立方フィート（CFM）で、これは0。75％ Freon- CF²-4 （CFC14）および99。25％乾燥窒素（N²）です。アッシングチャンバーには2つの石英シャワーヘッドが装備されており、合計流量は1 CFM窒素、2 CFMは酸素です。650の温度制御システムは、エッチング/アッシングチャンバーの高温安定性を保証する熱フィードバックループを備えています。PVA 650のユニットは、直感的なユーザーコントロールと高度な熱保護機能を備えたハイテクなプログラマブルロジックコントローラ（PLC）も備えています。PLCを使用すると、時間、温度、流量、圧力などのエッチング/アッシングプロセスパラメータを制御できます。マシンには、ツールのワンタッチ制御と設定の手動制御のための組み込みのコンピュータモニターとユーザーインターフェイスも含まれています。650の構造は固体であり、ステンレス鋼およびテフロンの主に組み立てられる信頼できる。エッチング/アッシングチャンバーは、PVA 650°C （1202°華氏）までの温度、および高圧および真空に耐えるように設計されています。650は次の付属品と標準的来ます：電源、圧力トランスデューサー、温度のトランスデューサー、ガス流れ制御弁、1/4"ロックアップレンチおよびPVA-PVA 650 PLC統合されたコンピュータ資産。650は、さまざまな半導体デバイスに精密エッチングと化学蒸着を提供し、さまざまなニーズに対応するように設計されています。薄いウェーハ、基板、その他の微細構造の加工に適しています。この信頼性の高いモデルは、再現性の高いプロセス、優れたエッチング、アッシング、およびCVD性能、低い所有コスト、および高スループットを可能にするように設計されています。