中古 PVA 650 #293804899 を販売中

PVA 650は、半導体加工に使用するために設計された高度なエッチャーおよびアッシャーです。これは、強力な上流のガス供給装置と高精度、低アブレーションプラズマチャンバーを備えています。エッチングチャンバーは、多種多様な温度、圧力、エッチング化学に対応できるため、幅広い半導体アプリケーションに適しています。650の絶縁プラズマチャンバーは、ガスの流れ、圧力、温度の長期安定性のために設計されており、信頼性の高いエッチングプロセスを提供します。エッチングパラメータを正確に制御するために、PVA 650にはオプションのリアルタイム圧力および温度制御が含まれています。上流のガス供給システムは、最大5つのプロセスガスを同時に混合することができ、多種多様なエッチング化学物質を使用することができます。650の特許取得済みの結晶エッチング技術により、最大500ナノメートルのエッチング深度を実現できます。PVA 650のエッチングの均一性は、微小欠陥を最小限に抑え、一貫して高品質な結果をもたらします。全体的なユニットは使いやすく、メンテナンスも最小限で、大量生産に適しています。2つの直感的なタッチスクリーンでプロセスパラメータを簡単に設定できます。このマシンは標準の真空システムとも互換性があり、メンテナンスコストをさらに削減します。可能であれば、650は自動的にエッチパラメータを最適化し、面倒な手動計算からオペレータを解放します。PVA 650は、ハイエンドのエッチング速度は毎分70ナノメートル、スループットは毎時35ウェハで、同等のドライエッチャーに比べて優れた速度を発揮します。この高いスループットと信頼性の高いエッチング結果を組み合わせた650は、今日の半導体アプリケーションにおいて市場で最も適したエッチャーおよびアッシャーツールの1つです。