中古 PVA 650 #293804893 を販売中
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PVA 650は、マイクロチップおよびその他の半導体部品の精密エッチングまたはアッシング用に設計されたエッチング/アッシング装置です。高性能レーザーを使用して、エラーを最小限に抑えた精密なエッチングマークを作成します。最大5umまでの精度で正確にエッチングし、最大10umまでの深さに到達することができます。また、ウェーハにダメージを与えることなく、より高いパワー値に到達することができます。レーザーは非常に効率的な自動検出光学によって導かれ、ユーザーにエッチングの速度そしてベクトルの精密な制御を与えます。さらに、ユーザーはフォーカスとエネルギー設定を調整して、さまざまな深さと角度を正確にエッチングすることができ、さまざまな形状やサイズで高精度にすることができます。650には、エッチングおよびアッシング処理中の温度を正確に制御できる温度センシングユニットが装備されています。これは、エッチングプロセスが最高の精度で実行され、欠陥の少ないより良い結果をもたらすことを意味します。また、高性能の窒素シャワーを使用することで、エッチング時のウェーハ損傷のリスクを低減することができます。PVA 650には、オペレータの安全性を確保するためのライトカーテンや、過負荷保護のためのレーザーベースの可聴アラームなど、多くの安全機能が装備されています。これらのすべての機能は、幅広いエッチングパラメータとともに、650をマイクロエレクトロニクス部品のエッチングまたはアッシングのための信頼性の高い正確なツールにします。
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