中古 PVA 650 #293804887 を販売中

PVA 650は、フォトリソグラフィックおよびサンプル調製アプリケーションに使用されるエッチャー/アッシャーです。シリコンやガリウム-ヒ素などの半導体材料の異方性エッチング用に特別に設計された、電気駆動、完全自動化された装置です。650システムは、優れた均一性と再現性を備えたウェーハおよびダイの高速かつ正確なエッチングを提供します。PVA 650は、エッチングのためのアクティブバイアス強化プラズマ技術を使用しており、サンプルの損傷を最小限に抑えた優れたエッチング率と制御可能なプロファイルを生成します。これは、サンプルの均一な加熱と冷却を可能にする石英プロセスチャンバーを備えています。プロセスチャンバーにサンプルを取り込むために、ロードロックユニットを設置することもできます。コントローラは、温度、圧力、フロー、およびその他のプロセスパラメータなど、必要に応じてパラメータを自動的に調整します。650には、ユーザーがウェーハハンドリングを自動化し、他のシステムとの統合と相互接続を可能にする高度なソフトウェアも含まれています。このソフトウェアは、プロセス制御、レシピ管理、監視、データ取得、レポート機能も備えています。ソフトウェアを使用することで、ユーザーはプロセス履歴を追跡し、使用状況に基づいてレシピを変更することもできます。全体として、PVA 650は高いスループット、優れた性能、およびエッチングおよびサンプル調製アプリケーションの生産性の向上を提供します。最小限のメンテナンスで最高の結果を提供できる強力で柔軟なマシンです。ユーザーフレンドリーなインターフェイスとオートメーション機能を備えており、研究や産業環境での使用に適しています。