中古 PVA 650 #293804324 を販売中

PVA 650は、高精度の無線周波数（RF）電源技術の世界的リーダーであるPlasma-Thermによって開発されたエッチャー/アッシャーです。様々な基材用に設計されています。650はシングルダイからフルウエハまで幅広い基板に最適で、フロントエンド・オブ・ライン（FEOL）およびバックエンド・オブ・ライン（BEOL）プロセスに最適化されています。PVA 650は中型マイクロエッチング装置で、チャンバーはx 51。2 in x 43 in （LxWxH）である。高度な真空システム、ステンレス鋼とセラミック材料で作られたチャンバー、内蔵のタッチスクリーンコントロールは、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に最適です。標準的な基圧定格は6 x 10-7 Torrで、高いプロセス温度（最大540°C）を維持する技術です。650は、誘導的に結合された無線周波数技術を利用して、高度に制御された効率的なエッチングおよびアッシングプロセスのためのプラズマ環境を生成します。これは、プラズマおよびエッチングガスを正確に制御するためにホットカソードおよび「コールド」マスフローコントローラを使用しています。PVA 650にはバイポーラ電源ユニットも装備されており、エッチング用途に役立つ独立した正負の電力レベルを生成することができます。650の高度な機能により、優れたプロセス制御と再現性を提供します。機械のプログラム可能なシャワーヘッドは複雑な基質の完全な適用範囲を提供するのに使用することができます。その回転電極は、エッチング速度を正確に一致させるために、無線周波数電界とパルス電力を調整します。また、PVA 650にはオートリフィルが搭載されているため、オペレータの相互作用を最小限に抑え、必要なプロセスの種類に応じて30秒から数時間のサイクルタイムで連続したエッチングおよびアッシング操作を延長できます。650はまた長期操作および性能のために造られます。このツールは、タイトな寸法安定性のために設計されており、窒素パージング資産、高度なロック、オペレータの安全のためのクイックオープニングチャンバーハッチなどの新興の安全機能を利用しています。全体的に、PVA 650は、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に最適です。その高度な機能、堅牢な技術、および確実なプロセス再現性により、正確なプロセス制御と長期的な信頼性を必要とする人々にとって理想的な選択肢となります。