中古 PVA 650 #293765024 を販売中

PVA 650は、さまざまな半導体ウェーハ加工用途において、フィルムフォトレジストやその他の材料の除去に使用されるエッチャー/アッシャーです。プラズマ源、主加工室、排気室、ウエハハンドリング装置を備えています。酸素、アルゴン、窒素、塩素などの特殊ガスを反応種として利用するガス供給システムです。メインチャンバーは、精密な加工のために温度制御されたシャワーヘッドタイプのディスペンサーを搭載し、ウェーハ表面に均一にエチャントを分配します。排気室は、低圧で動作し、プロセス中に作成された副産物を収集するように設計されています。ウェーハハンドリングユニットは、マシン全体にウェーハを転送するロボットアームと、ウェーハをツールから出し入れするためのロードロックチャンバーで構成されています。650は、高密度プラズマとケミカルエッチングを組み合わせたデュアルチャンバー資産で、最大エッチング歩留まりと最短処理時間を実現します。プラズマエッチングは、より薄いフィルム層を優先的に除去するために使用され、化学エッチングは所望のエッチング率を達成するために使用されます。ウエハ表面はプラズマ源によって生成されたイオンによって処理され、エッチング分子に方向移動を与え、高エッチング率と一貫したエッチプロファイルが得られます。また、Etcher/Asherは、リモートコントロールされたウェーハハンドリング、エンドポイント検出、温度制御、塩素および酸素濃度制御など、多くのプロセスの柔軟性と制御機能を備えています。PVA 650は、半導体製造業向けに特別に設計されており、ウェーハ処理の完全なセットを可能にします。これは、非常に均一なエッチプロファイルと高スループットを達成することができ、効果的で汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。これは、最も要求の厳しいプロセス要件と工業規格を満たしながら、クリーンで安全で経済的なウェーハ処理ソリューションを提供するように設計されています。