中古 PVA 350 #9198731 を販売中

PVA 350は、高スループット処理用に設計されたエッチングおよびアッシング装置です。これらのデバイスを製造する過程でウェーハから有機材料や汚染膜を除去するために半導体業界で使用されています。350システムは、ICP （Inductively Copled Plasma）を使用して、処理中のウェーハ表面から材料と相互作用し、除去する原子粒子を生成します。このICP技術は、利用可能な最も正確で正確なエッチング/アッシングプロセスの1つであり、高い精度、再現性、均一性を提供します。PVA 350はまたそれを特にユーザーフレンドリーにさせる多数の特徴が装備されています。これらの機能には、自動パス、正確なウェハ認識のためのデジタルOCR、 ICPマシンの正確な電力制御、洗練された真空制御ツール、および信頼性の高い堅牢な制御資産が含まれます。350はウェーハの表面から複数のAngstromsの深さまで材料をエッチングすることができ、ウェーハ加工に最適なツールです。また、高解像度の画像を生成することができ、計測や検査に最適です。8インチウエハと12インチウエハの両方に対応可能で、既存システムとの統合も可能です。それはまた部屋のクリーニングおよび遠隔診断を提供し、維持し、作動することを容易にします。全体的に、PVA 350は信頼性が高く、汎用性の高いエッチングおよびアッシング装置です。そのICP技術は正確で反復可能な結果を保証し、ユーザーフレンドリーな機能は非常に使いやすいです。あらゆる半導体製造アプリケーションにおいて、350は優れた選択肢です。