中古 PVA 350 #9032147 を販売中

PVA 350は、350mm基板サイズまでのパッシベーション、エッチング、アッシング用途向けに設計された、高度で高スループットエッチャー/アッシャーです。幅広いエッチング化学製品を可能にする堅牢で拡張性の高い機器設計により、業界をリードするプロセス機能を提供します。このシステムには高度な機能と最新のプロセス制御機能が搭載されており、ファブリケーターは非常に高い再現性と信頼性で複雑なツールサイクルを調整することができます。350はエッチングプロセス用の大きなチャンバーを内蔵しており、効率的な基板処理を可能にするリフトハッチを備えています。モジュラー設計により、シェーカー、スピンエッチャー、ケミカルバス、プラズマアッシャー、片面および両面プロセスなどのエッチングツールを組み込むことができます。また、プロセスサイクル、ツールの強化、その他の機能のアップグレードのユーザーのカスタマイズを可能にする高度な構成が可能です。また、安全インターロック、換気エンクロージャ、自動安全シャットオフシステムを備え、ユーザーの安全を考慮して設計されています。さらに、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンは、温度、時間、工具回転速度などのプロセスパラメータをプログラム可能に制御し、正確で繰り返し可能なエッチングサイクルを保証します。高度な機能を備えたPVA 350は、高度なパッケージング、MEMS、およびオプトエレクトロニクス業界の幅広いカスタムアプリケーションに高品質のエッチングソリューションを提供することができます。