中古 PSK TERA 21S #9241274 を販売中

PSK TERA 21Sは、PSK Technologiesによって製造された最先端のエッチャー/アッシャーです。二酸化ケイ素やポリイミドなどの高級ウエハなどの薄い材料を加工するために設計されています。特に、最先端の半導体製造、MEMS、およびマイクロシステムを含むアプリケーションに適しています。この機器はPLC （Programmable Logic Controller）インターフェースを備えており、さまざまなオートメーションシステムに簡単に統合できます。TERA 21Sは、200mmおよび300mmウェーハ寸法の生産レベルの基板加工用に設計されています。これは、基板全体にエッチング/灰を均一に分布させるために、ずれたステップを持つリニアスキャンを利用します。自動プリアライナーにより、すべてのバッチの位置と向きの再現可能なアライメントが可能になります。マルチスズ非接触、無ガスプラズマ源は、ウェハ全体に均一なエッチング/灰の堆積条件を提供します。このシステムには、信頼性の高い電気特性を維持するための5段階のシーケンシャルシャットオフユニットも装備されています。PSK TERA 21Sは、連続的なバッチ処理シナリオでの使用に適しています。調節可能なプロセス速度、塩素を含まないNF化学、プラズマアーク溶接（PAW）機能など、いくつかの機能があります。また、プロセスパラメータのリアルタイム調整を可能にするオンライン測定機能も備えています。これにより、機械の迅速かつ簡単な校正が可能になり、最適な結果が得られます。TERA 21Sにはハイスループットハンドリングロボットも含まれており、素早く正確な基板の積み下ろしを行うように設計されています。このロボットはパターン認識ベースのモーションツールを備えており、時間を節約し、エラーを低減します。このロボットには活性金属イオンフィルターがあり、高品質のエッチング/灰の結果を保証するのに役立ちます。この資産は、-20〜+250°Cの温度範囲で高温機能も備えています。PSK TERA 21Sは、ISO-9002およびSANTON認証と完全に互換性があり、高品質のエッチング/灰の結果を保証します。高速実行時間、設定可能なプログラマブルロジック、自動化されたプレアライナー、およびマルチスズ非接触、無ガスプラズマ源を備えたこのモデルは、ウェーハやその他の薄い材料の高精度エッチング/アッシングに最適です。