中古 PSK TERA 21 #9355264 を販売中

PSK TERA 21は、半導体産業の高度な加工に特化した高効率で信頼性の高いエッチャーおよびアッシャー装置です。この汎用性の高いエッチャー/アッシャーは、薄膜エッチングや酸化物蒸着などの幅広いプロセスに高いスループットと柔軟性を提供します。TERA 21は、単一のウエハ上で超高スループットの200W率で設計されており、最大200nm/minのレートを生成することができます。さらに、汎用性の高いガス供給装置により、幅広いガス濃度レベルを簡単に調整することができ、ユーザーは厳格な要件を満たすためにプロセスレシピを正確に調整することができます。汎用性の高いPSK TERA 21は、塩素、三塩化ホウ素、フッ素、SF6などの半導体加工に使用される化学物質など、幅広い反応源を適用することもできます。自動RFマッチング回路技術を搭載し、希望種の濃度を正確かつ正確に配信することができます。このシステムは信頼性が高く高精度であり、温度制御は± 1°Cまで耐性があり、毎回再現可能なプロセス結果を可能にします。この高度なエッチャー/アッシャーユニットは、優れたエッチング製品の均一性と歩留まりも提供します。その先進的な光学系と画像認識システムは、製品の品質保証だけでなく、ユニットウエハあたりの高い歩留まりを提供します。さらに、強力なエレクトロニクス制御およびビデオモニタマシンは、ユーザーに使いやすいインターフェースを提供し、エッチング/アッシャープロセスをより安全で効率的にします。要するに、TERA 21は、高度な半導体処理に最適な信頼性の高い高性能エッチャー/アッシャツールです。その汎用性の高いガス供給システムは、希望する種の正確な配送を保証し、超高スループット率により、最大200nm/minの生産を可能にします。さらに、温度制御、画像認識システム、ビデオモニターは、完全なプロセス制御のための使いやすいインターフェースを提供します。